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대상물 가공 장치

  • 기술번호 : KST2015129792
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 대상물 가공 장치는 진공 챔버와, 막을 형성하기 위한 대상물을 지지하는 지지부재와, 막을 형성하기 위한 물질을 포함하는 타겟 및 타겟과 대상물을 향해 이온빔을 각각 조사하며, 대상물에 막을 형성하기 위해 타겟의 물질이 대상물을 향하도록 타겟의 물질을 활성화하고, 막이 형성되기 전에 대상물을 전처리하거나 막이 형성된 후 대상물을 후처리하는 이온 빔 소스를 포함한다. 대상물 가공 장치는 막 형성 및 전처리 또는 후처리를 동시에 수행할 수 있으므로, 대상물 처리 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/3442(2013.01) C23C 14/3442(2013.01) C23C 14/3442(2013.01)
출원번호/일자 1020130140476 (2013.11.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0057304 (2015.05.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020160018198;
심사청구여부/일자 Y (2013.11.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도근 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 이승훈 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 정성훈 대한민국 서울특별시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-1050897-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0065887-56
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0222174-33
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.06.01 무효 (Invalidation) 1-1-2015-0524213-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0526724-40
7 보정요구서
Request for Amendment
2015.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0095600-93
8 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2015.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0115132-96
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0760975-62
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-1122438-56
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.11.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-1122418-43
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0027736-53
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.02.11 수리 (Accepted) 7-1-2016-0006842-07
14 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0155425-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
진공 챔버;막을 형성하기 위한 대상물을 지지하는 지지부재;상기 막을 형성하기 위한 물질을 포함하는 타겟; 및상기 타겟과 상기 대상물을 향해 이온빔을 각각 조사하며, 상기 대상물에 상기 막을 형성하기 위해 상기 타겟의 물질이 상기 대상물을 향하도록 상기 타겟의 물질을 활성화하고, 상기 막이 형성되기 전에 상기 대상물을 전처리하거나 상기 막이 형성된 후 상기 대상물을 후처리하는 이온 빔 소스를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 타겟은 다각형 기둥 또는 원기둥 형태를 가지며, 상기 다각형 기둥의 측면들 또는 상기 원기둥의 측면에 서로 다른 물질들을 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 타겟은 상기 진공 챔버 내부에서 이동 및 상기 다각형 기둥 또는 원기둥의 축을 중심으로 회전이 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 타겟에 포함된 물질은 전도체, 유전체, 비전도체인 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 이온 빔은 아르곤, 헬륨, 산소, 질소, 수소, 탄소 중 적어도 하나의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 지지부재는 필름 형상의 대상물을 권취하여 이송하기 위한 한 쌍의 롤러인 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 챔버는 내부를 다수의 영역으로 구분하는 격벽을 가지며, 상기 영역마다 상기 타겟과 상기 이온 빔 소스가 구비되는 것을 특징으로 하는 대상물 가공 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101698717 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 재료연구소 주요산업 미세금속 배선적용 유연 투명전도막 형성기술개발(2/3)