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반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템

  • 기술번호 : KST2015129794
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치는 하면이 피세정물에 대향하도록 구비되고, 냉각유체가 유입되는 냉각유체유입구와, 냉각유체가 배출되는 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 수납되는 제1전달체, 상기 제1전달체에 상면에 설치되며 초음파를 발생시키는 압전소자, 상면이 상기 하우징의 하면에 밀착 고정되어 상기 제1전달체의 하면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부에 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하며, 상기 제2전달체는 하면에 경사진 경사면이 형성되는 것을 특징으로 한다.또한, 본 발명에 따른 반사파 방지를 위한 초음파 세정 시스템은 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치; 및 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/304(2013.01)
출원번호/일자 1020130123001 (2013.10.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1551271-0000 (2015.09.02)
공개번호/일자 10-2015-0044100 (2015.04.24) 문서열기
공고번호/일자 (20150909) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.16)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전 유성구
2 임의수 대한민국 대전 유성구
3 김현세 대한민국 서울 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0931863-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0059319-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0811395-31
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0030358-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0071756-51
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0071743-68
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004924-15
9 등록결정서
Decision to grant
2015.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0424825-30
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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하면이 피세정물에 대향하도록 구비되고, 외면에 냉각유체가 유입되는 냉각유체유입구 및 냉각유체가 배출되는 냉각유체배출구가 각각 형성되는 하우징; 및상기 하우징의 내부에 수납되는 제1전달체와, 상기 제1전달체에 상면에 설치되며 초음파를 발생시키는 압전소자와, 상면이 상기 하우징의 하면에 밀착 고정되어 상기 제1전달체의 하면과 결합되는 제2전달체를 포함하는 진동자;를 포함하며,상기 제2전달체는 하면에 경사진 경사면이 형성되며, 상기 제1전달체는 상면 둘레에 단차가 형성되는 것을 특징으로 하는 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 경사면은서로 반대 방향으로 경사진 형태로 형성되는 제1경사면과 제2경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치
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제2항에 있어서, 상기 경사면은상기 제1경사면과 제2경사면이 서로 대칭되는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치
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제2항에 있어서, 상기 경사면은상기 제1경사면과 제2경사면이 서로 대향하는 방향으로 갈수록 넓어지는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치
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삭제
6 6
제1항에 의한 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치; 및피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치를 이용한 세정 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.