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펄스 발진하는 레이저 빔을 조사하는 레이저 헤드;상기 레이저 빔을 연속 발진하는 측정용 레이저 빔으로 변환하는 변환부;가공 모드시 상기 레이저 빔을 대상물에 조사하고, 상기 측정 모드시 상기 측정용 레이저 빔을 상기 대상물에 조사하는 제어부; 및상기 대상물로부터 반사된 상기 측정용 레이저 빔을 감지하여 감지 신호를 출력하는 공 초점 광학계를 포함하고,상기 제어부는,상기 감지 신호를 평균화하고, 상기 평균화된 감지 신호의 최대 점을 검출하여 공 초점 위치를 판단하고, 상기 공 초점 위치에 대응하는 상기 대상물의 표면 단차를 측정하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제1 항에 있어서,상기 변환부는상기 공 초점 위치를 판단한 이후에 상기 감지 신호가 미리 설정된 크기만큼 낮아지면 활성화되는 리셋 신호에 따라 상기 측정용 레이저 빔을 펄스 발진시키는 리셋부를 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제3 항에 있어서,상기 변환부는,상기 레이저 빔을 입력 받는 입력 단자;상기 측정용 레이저 빔을 출력하는 출력 단자;상기 입력 단자에 연결된 일단 및 접지 단자에 연결된 타단을 포함하는 커패시터; 및상기 커패시터의 일단 및 타단에 각각 연결된 일단 및 타단을 포함하는 제1 저항을 더 포함하고,상기 리셋부는,상기 입력 단자에 연결된 일단을 포함하는 제2 저항; 및상기 제2 저항의 타단과 상기 접지 단자 사이에 연결되고, 상기 리셋 신호에 따라 턴 온되는 트랜지스터를 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제4 항에 있어서,상기 변환부는상기 입력 단자에 연결된 애노드 전극 및 상기 커패시터의 일단에 연결된 캐소드 전극을 포함하는 다이오드를 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제1 항에 있어서,상기 공 초점 광학계는상기 대상물로부터 반사되어 전달된 상기 측정용 레이저 빔의 초점을 형성하는 공 초점 렌즈;상기 측정용 레이저 빔의 상기 초점을 검출하는 핀 홀; 및상기 핀 홀을 통과한 상기 측정용 레이저 빔을 감지하여 상기 감지 신호를 생성하는 포토 센서를 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제1 항에 있어서,상기 레이저 빔 및 상기 측정용 레이저 빔 각각의 초점을 형성하여 상기 대상물에 전달하는 대물렌즈를 더 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제7 항에 있어서,상기 대물렌즈와 수직한 방향에 배치되고, 상기 레이저 빔 또는 상기 측정용 레이저 빔을 상기 대물렌즈에 전달하는 제1 빔 스플리터; 및상기 공 초점 광학계와 상기 제1 빔 스플리터 사이에 상기 대물렌즈와 수직한 방향에 배치되고, 상기 측정용 레이저 빔을 상기 대물렌즈에 전달하는 제2 빔 스플리터를 더 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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제1 항에 있어서,상기 레이저 빔 또는 상기 측정용 레이저 빔의 초점에 대응하는 영상을 검출하는 이미지 검출부를 더 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치
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펄스 발진하는 레이저 빔을 조사하는 레이저 헤드를 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치의 구동 방법에 있어서,대상물의 표면 형상을 측정하는 측정 모드시 상기 레이저 빔을 연속 발진하는 측정용 레이저 빔으로 변환하는 단계;상기 측정용 레이저 빔을 상기 대상물에 조사하는 단계;상기 대상물로부터 반사된 상기 측정용 레이저 빔을 감지하여 측정 데이터를 생성하는 단계; 상기 측정 데이터를 기반으로 가공 데이터를 수정하는 단계; 및상기 대상물의 표면을 가공하는 가공 모드시 상기 수정된 가공 데이터에 따라 상기 펄스 발진하는 레이저 빔을 상기 대상물에 조사하는 단계를 포함하고,상기 측정 데이터를 생성하는 단계는,상기 대상물로부터 반사된 상기 측정용 레이저 빔을 핀 홀에 통과시키는 단계;상기 핀 홀을 통과한 상기 측정용 레이저 빔을 감지하여 감지 신호를 생성하는 단계;상기 감지 신호를 평균화시키는 단계;상기 평균화된 감지 신호의 최대 값을 검출하여 공 초점 위치를 판단하는 단계; 및상기 공 초점 위치에 대응하는 상기 대상물의 표면 단차를 검출하는 단계를 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치의 구동 방법
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제10 항에 있어서,상기 최대 값을 검출하는 단계 이후에상기 평균화된 감지 신호가 미리 설정된 크기만큼 낮아지는지 여부를 판단하는 단계; 및상기 평균화된 감지 신호가 미리 설정된 크기만큼 낮아지면 상기 측정용 레이저 빔을 펄스 발진시키는 단계를 더 포함하는 레이저 측정 및 가공 장치의 구동 방법
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