1 |
1
유연 소자 샘플에 광을 조사하는 광원,상기 유연 소자 샘플에 변형을 가하는 변형 인가 부재,상기 변형 인가 부재에 의해 변형된 상기 유연 소자 샘플의 광전도성의 변화를 측정하는 광전도성 측정기,상기 광원과 상기 유연 소자 샘플 사이의 광경로에 위치하고 있는 공초점 광학계를 포함하고, 상기 유연 소자 샘플에 상기 광이 조사되어 상기 유연 소자 샘플의 광전도성이 변화하고,상기 유연 소자 샘플은 채널 부재, 상기 채널 부재의 양단에 설치된 전극, 상기 채널 부재 및 전극을 둘러싸고 있는 절연체를 포함하고,상기 절연체는 상기 채널 부재를 둘러싸고 있는 채널 절연체, 상기 전극을 둘러싸고 있는 전극 절연체를 포함하며,상기 채널 부재와 상기 채널 절연체를 포함하는 유연 채널부의 두께는 상기 전극과 상기 전극 절연체를 포함하는 유연 전극부의 두께보다 작으며, 상기 채널 절연체와 상기 전극 절연체는 동일한 유연성의 물질로 형성되어 있고,상기 공초점 광학계는 상기 유연 소자 샘플의 광전도성의 변화를 광전류 신호로 변환하는 유연 소자의 광전도성 측정 장치
|
2 |
2
제1항에서,상기 광전도성 측정기는 상기 유연 소자 샘플에서 발생하는 광전압을 측정하는 광전압 측정기,상기 광전압 측정기에서 측정된 광전압의 노이즈를 제거하는 노이즈 제거기를 포함하는 유연 소자의 광전도성 측정 장치
|
3 |
3
제2항에서,상기 노이즈 제거기는상기 광원에서 발생한 광을 주기적인 주파수의 광신호로 만드는 광 초퍼,상기 광전압 측정기에서 측정된 광전압을 증폭시키는 프리 증폭기,상기 프리 증폭기에서 증폭된 광전압과 상기 광 초퍼에서 만든 광신호가 입력되는 로크인 증폭기를 포함하는 유연 소자의 광전도성 측정 장치
|
4 |
4
제3항에서,상기 로크인 증폭기를 통해 출력되는 증폭신호를 영상으로 출력하는 데이터처리기를 더 포함하는 유연 소자의 광전도성 측정 장치
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
삭제
|
7 |
7
삭제
|
8 |
8
유연 소자 샘플에 광을 조사하는 광원,상기 유연 소자 샘플에 변형을 가하는 변형 인가 부재,상기 변형 인가 부재에 의해 변형된 상기 유연 소자 샘플의 광전도성의 변화를 측정하는 광전도성 측정기,상기 광원과 상기 유연 소자 샘플 사이의 광경로에 위치하고 있는 공초점 광학계를 포함하고, 상기 유연 소자 샘플에 상기 광이 조사되어 상기 유연 소자 샘플의 광전도성이 변화하고,상기 유연 소자 샘플은 채널 부재, 상기 채널 부재의 양단에 설치된 전극, 상기 채널 부재 및 전극을 둘러싸고 있는 절연체를 포함하고,상기 절연체는 상기 채널 부재를 둘러싸고 있는 채널 절연체, 상기 전극을 둘러싸고 있는 전극 절연체를 포함하며,상기 채널 부재와 상기 채널 절연체를 포함하는 유연 채널부의 두께는 상기 전극과 상기 전극 절연체를 포함하는 유연 전극부의 두께와 동일하며, 상기 전극 절연체는 상기 채널 절연체보다 유연성이 낮은 물질로 형성되어 있고,상기 공초점 광학계는 상기 유연 소자 샘플의 광전도성의 변화를 광전류 신호로 변환하는 유연 소자의 광전도성 측정 장치
|
9 |
9
제8항에서,상기 유연 소자 샘플은 상기 전극에서 연장되는 보조 전극,상기 보조 전극을 둘러싸고 있는 보조 절연체를 더 포함하고,상기 채널 부재와 상기 채널 절연체를 포함하는 유연 채널부의 두께, 상기 전극과 상기 전극 절연체를 포함하는 유연 전극부의 두께 및 상기 보조 전극 및 보조 절연체를 포함하는 유연 보조 전극부의 두께는 서로 동일하며, 상기 채널 절연체와 상기 전극 절연체는 동일한 유연성의 물질로 형성되어 있으며, 상기 절연체는 상기 보조 절연체보다 유연성이 낮은 물질로 형성되어 있는 유연 소자의 광전도성 측정 장치
|