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제1광원과, 상기 제1광원과 수평 방향으로 일정거리 이격되어 배치되며 상기 제1광원으로부터 조사된 빛을 분할하는 제1빔스플리터를 포함하고, 상기 제1빔스플리터가 내부에 수용된 제1수용부의 상측면과 하측면에 제1상부조립면 및 제1하부조립면이 형성되는 광원모듈;상기 제1하부조립면의 하측에 배치되며 상기 광원모듈의 제1빔스플리터에 의해 분할되어 입사된 평행 빔이 시편 상에 집광되도록 하는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈와 연결되어 상기 시편 상에 초점이 맺히도록 수직 방향으로 이동되는 초점구동스테이지를 포함하는 대물렌즈 모듈;상측면과 하측면에 제2상부조립면 및 제2하부조립면이 형성되는 제2수용부 내부에 수용되며, 시편으로부터 수직으로 입사 후 반사된 빛 중 일부는 수평 방향으로 반사되고, 나머지는 수직 방향으로 투과되도록 하는 제2빔스플리터와, 상기 제2빔스플리터에서 반사된 빛이 통과되는 적어도 하나 이상의 센서렌즈와, 상기 센서렌즈를 통과한 빛의 초점이 상기 시편 상 형성되는 기준점으로부터 어긋난 정도를 검출하는 센서소자를 포함하며, 상기 시편에서 반사된 빛을 통해 시편 상의 초점이 어긋난 정도에 대한 오차신호를 검출하는 센서모듈;상측면과 하측면에 제3상부조립면 및 제3하부조립면이 형성되는 제3수용부 내부에 수용되며, 상기 시편에서 수직 방향으로 입사된 빛이 다시 수평 방향으로 반사되도록 하는 제3빔스플리터와, 상기 제3빔스플리터에서 반사된 빛이 통과되는 적어도 하나 이상의 결상렌즈와, 상기 결상렌즈를 통과한 빛의 형상이 결상되는 영상소자를 포함하며, 상기 시편에서 반사된 빛을 통해 시편의 영상정보를 획득하는 영상모듈; 을 포함하되,상기 광원모듈 및 대물렌즈 모듈로 이루어진 베이스 조립부 상측에 상기 영상모듈 또는 센서모듈 중 적어도 어느 하나 이상이 조립되는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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제 1항에 있어서,상기 모듈형 광학 장치는조명광원과, 상기 조명광원과 수평 방향으로 일정거리 이격되어 배치되며 상기 조명광원으로부터 조사된 빛을 분할하는 제4빔스플리터를 포함하고, 상기 제4빔스플리터가 내부에 수용된 제4수용부의 상측면과 하측면에 제4상부조립면 및 제4하부조립면이 형성되는 조명모듈; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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제 4항에 있어서,상기 모듈형 광학장치는상기 베이스 조립부 상측에 상기 센서모듈, 조명모듈 및 영상모듈 중 적어도 어느 하나 이상이 적층되어 조립되되,상기 제1 내지 제4상부조립면, 상기 제1 내지 제4하부조립면이 모두 평행하며, 상기 제1 내지 제4하부조립면에 수직 방향으로 평행 빔이 출사 또는 입사되는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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제 5항에 있어서, 상기 모듈형 광학 장치는상기 베이스 조립부 상측에 상기 센서모듈, 조명모듈 및 영상모듈 중 적어도 어느 하나 이상이 적층되되,적층되는 모듈의 사이 공간에 오프셋형 연결블록이 장착되어 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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제 1항에 있어서, 상기 광원모듈은상기 제1광원이 레이저 다이오드인 경우,상기 제1광원 및 제1빔스플리터 사이에 평행 빔을 발생시키는 제1콜리메이션 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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제 1항에 있어서,상기 광원모듈은상기 제1광원과 상기 제1빔스플리터 사이에 구비되는 파장형 빔스플리터;상기 제1광원과 수직방향으로 일정거리 이격되어 배치되며, 상기 제1광원과 서로 다른 파장을 갖는 제2광원;상기 제2광원과 수평방향으로 일정거리 이격되어 배치되며 상기 제2광원으로부터 조사된 빛을 반사시켜 상기 파장형 빔스플리터로 전달하는 반사미러; 를 더 포함하여 형성되며,상기 파장형 빔스플리터를 투과한 상기 제1광원에 의한 제1평행 빔과, 상기 파장형 빔스플리터에서 반사된 제2광원에 의한 제2평행 빔이 상기 제1빔스플리터에 의해 하측방향으로 반사되는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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제 8항에 있어서,상기 광원모듈은제1광원 및 제2광원이 레이저 다이오드인 경우, 상기 제1광원 및 파장형 빔스플리터 사이에 제1콜리메이션 렌즈가 구비되고,상기 제2광원 및 반사미러 사이에 제2콜리메이션 렌즈가 구비되는 것을 특징으로 하는 모듈형 광학 장치
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