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전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵

  • 기술번호 : KST2015129808
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다양한 사이즈의 전자빔을 얼라인먼트할 수 있는 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵을 위하여, 전자총에 결합될 수 있으며 개구를 갖는 하우징과, 상기 하우징에 회전가능하게 결합되며, 상기 전자총에서 방출된 전자가 부딪칠 수 있는 제1프르브와, 상기 제1프르브를 상기 하우징에 회전가능하게 결합하는 샤프트와, 상기 하우징에 결합되어 상기 제1프르브를 통과한 전자가 부딪치는 제2프르브를 포함하고, 상기 제1프르브는 상기 전자의 적어도 일부가 통과하며 상기 하우징의 개구에 각각 배치될 수 있으며 상호 크기가 다르고 각각이 중심축이 상호 교차하는 복수의 홀을 구비하는 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵을 제공된다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01)
출원번호/일자 1020130109887 (2013.09.12)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1421093-0000 (2014.07.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임선종 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0836619-12
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1025067-43
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.18 수리 (Accepted) 9-1-2013-0107344-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0035843-04
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0248946-91
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0248947-36
8 등록결정서
Decision to grant
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0339587-51
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자총에 결합될 수 있으며, 개구를 갖는 하우징; 상기 하우징에 회전가능하게 결합되며, 상기 전자총에서 방출된 전자 빔의 사이즈를 측정하는 제1프르브;상기 제1프르브를 상기 하우징에 회전가능하게 결합하는 샤프트;상기 하우징에 결합되어, 상기 제1프르브를 통과한 상기 전자 빔이 부딪쳐 전자 빔의 전류량을 측정하는 제2프르브; 를 포함하고,상기 제1프르브는상기 전자 빔의 적어도 일부가 통과하며, 상기 하우징의 개구에 각각 배치될 수 있으며, 상호 크기가 다르고 각각이 중심축이 상호 교차하는 복수의 홀을 구비하며,상기 전자 빔이 상기 복수의 홀 통과시 상기 제1프르브의 통전여부에 따라 상기 전자빔의 사이즈를 판단하는 것을 특징으로 하는 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵
2 2
제1항에 있어서,상기 샤프트는 절연체인, 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵
3 3
제1항에 있어서,상기 제2프르브는 상기 하우징의 일부를 이루는, 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵
4 4
제1항에 있어서,상기 하우징의 외부 및 상기 하우징의 개구의 반대편에 구비되는 절연부를 더 포함하는, 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 선문대학교 산학협력단 지경부-국가연구개발사업(III) EUV 마스크 actinic 검사 장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사 장비 기술 개발 (3/5)