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프로브 모듈 및 프로브 모듈의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015129815
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 미세 피치의 수직형 프로브 모듈을 용이하게 조립 및 제작할 수 있는 프로브 모듈의 제조 방법이 개시된다. 프로브 모듈의 제조 방법은, 홀더 및 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 프로브-홀더 유닛을 복수개 제조하는 단계와, 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 단계와, 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 번에 끼워 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 단계와, 홀더를 제거하는 단계를 포함한다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01)
CPC G01R 3/00(2013.01) G01R 3/00(2013.01)
출원번호/일자 1020130110404 (2013.09.13)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1582634-0000 (2015.12.29)
공개번호/일자 10-2015-0031371 (2015.03.24) 문서열기
공고번호/일자 (20160108) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.13)
심사청구항수 25

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정엽 대한민국 대전 유성구
2 이학주 대한민국 대전 유성구
3 김경식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0840279-31
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0054889-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0676915-05
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1167166-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.12.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1287252-06
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-1287251-50
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0227355-62
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2015.05.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0436101-83
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0436099-78
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0367092-09
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.07.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0747773-49
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2015-0747772-04
14 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2015.10.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0689150-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
홀더 및 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 프로브-홀더 유닛을 복수개 제조하는 단계;상기 홀더에 부착된 상기 복수의 프로브를 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 상기 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 단계;상기 제1 가이드에 조립된 상기 복수의 프로브-홀더 유닛을 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 한 번에 끼워 상기 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 단계; 및상기 복수의 프로브에 고정된 상기 홀더를 제거하는 단계를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 프로브 각각은 제1 스토퍼와 제2 스토퍼를 형성하며,상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼 각각은 상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드와 접하여 상기 복수의 프로브-홀더 유닛을 상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드에 정렬시키는 프로브 모듈의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 홀더는 상기 복수의 프로브를 정렬 고정시키는 지지부와, 지지부의 양측에서 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 한 쌍의 손잡이부를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 한 쌍의 손잡이부 가운데 적어도 하나는 상측 또는 하측에 상하 방향을 구분하기 위한 절개부를 형성하는 프로브 모듈의 제조 방법
5 5
제3항에 있어서,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 지지 부재가 제공되며,상기 지지 부재의 내측에 상기 한 쌍의 손잡이부가 각각 끼워지는 복수의 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법
6 6
제3항에 있어서,상기 한 쌍의 손잡이부 각각의 하측과 상측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성되고,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드에는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법
7 7
제2항에 있어서,상기 홀더는 상기 복수의 프로브를 정렬 고정시키는 지지부와, 지지부의 일측에서 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 하나의 손잡이부를 포함하며,상기 손잡이부는 상기 복수의 프로브-홀더 유닛 가운데 홀수번째 프로브-홀더 유닛과 짝수번째 프로브-홀더 유닛에서 서로 반대측에 위치하는 프로브 모듈의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 지지 부재가 제공되며,상기 지지 부재의 내측에 상기 손잡이부가 끼워지는 복수의 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법
9 9
제7항에 있어서,상기 손잡이부의 하측과 상측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성되고,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드에는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법
10 10
제5항 또는 제8항에 있어서,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 및 상기 지지 부재는 플라스틱, 세라믹, 및 산화실리콘으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법
11 11
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀더를 제거할 때 식각액을 사용하며,상기 복수의 프로브는 상기 홀더의 식각액에 대해 식각 저항성을 가지는 금속으로 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법
12 12
제11항에 있어서,상기 복수의 프로브는 니켈, 니켈-코발트, 니켈-철, 베릴륨-구리, 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하고,상기 홀더는 고분자 물질, 구리, 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법
13 13
제1항에 있어서,상기 프로브-홀더 유닛의 제조 단계는,기판 상에 씨드 금속층을 형성하고;상기 씨드 금속층 위로 복수의 개구부를 가지는 제1 마스크층을 형성하고, 제1 마스크층의 개구부에 제1 금속을 전기 도금하여 복수의 프로브를 형성한 후 제1 마스크층을 제거하고;상기 씨드 금속층 위로 개구부를 가지는 제2 마스크층을 형성하고, 제2 마스크층의 개구부에 제2 금속을 전기 도금하여 홀더를 형성한 후 제2 마스크층을 제거하고;상기 씨드 금속층을 식각하여 상기 프로브-홀더 유닛을 상기 기판으로부터 분리시키는 과정들을 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법
14 14
복수의 관통 홀을 형성하는 제1 가이드;상기 제1 가이드와 이격 배치되며, 상기 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀을 형성하는 제2 가이드;손잡이부를 가지는 홀더에 의해 한 줄로 정렬 부착되고, 상기 제1 가이드의 관통 홀과 상기 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하는 복수의 프로브; 및상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 위치하고, 상기 손잡이부를 지지하기 위한 가이드 홈을 형성하는 지지 부재를 포함하며,상기 복수의 프로브 각각은 상기 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 상기 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼를 형성하는 프로브 모듈
15 15
삭제
16 16
복수의 관통 홀과 더불어 제1 가이드 음각부를 형성하는 제1 가이드;상기 제1 가이드와 이격 배치되며, 상기 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀 및 상기 제1 가이드 음각부에 대응하는 제2 가이드 음각부를 형성하는 제2 가이드; 및손잡이부를 가지는 홀더와, 상기 홀더에 한 줄로 정렬 부착되고 상기 제1 가이드의 관통 홀과 상기 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하는 복수의 프로브를 가지는 복수의 프로브-홀더 유닛을 포함하며,상기 손잡이부의 아랫면에 제1 가이드 돌기가 형성되어 상기 제1 가이드 음각부에 끼워지고, 상기 손잡이부의 윗면에 제2 가이드 돌기가 형성되어 상기 제2 가이드 음각부에 끼워지며,상기 복수의 프로브-홀더 유닛의 상기 복수의 프로브 각각은 상기 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 상기 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼를 형성하는 프로브 모듈
17 17
삭제
18 18
삭제
19 19
복수의 관통 홀이 형성된 제1 가이드;상기 제1 가이드와 이격 배치되며, 상기 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀이 형성된 제2 가이드; 및홀더 및 상기 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 복수의 프로브-홀더 유닛을 포함하며,상기 복수의 프로브는 상기 제1 가이드의 관통 홀과 상기 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하고,상기 홀더는 상기 복수의 프로브가 정렬 부착되는 지지부와, 상기 지지부의 적어도 일측에서 상기 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 손잡이부를 포함하는 프로브 모듈
20 20
제19항에 있어서,상기 손잡이부는 상기 지지부의 양측에서 한 쌍으로 형성되는 프로브 모듈
21 21
제20항에 있어서,상기 한 쌍의 손잡이부 가운데 적어도 하나의 상측 또는 하측에 상하 방향을 구분하기 위한 절개부가 형성되는 프로브 모듈
22 22
제20항에 있어서,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 위치하여 상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드의 간격을 일정하게 유지시키는 지지 부재를 더 포함하며,상기 지지 부재는 그 내측에 상기 한 쌍의 손잡이부가 끼워지기 위한 복수의 가이드 홈을 형성하는 프로브 모듈
23 23
제20항에 있어서,상기 한 쌍의 손잡이부 각각의 상측과 하측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 형성되고,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 제1 가이드 음각부와 제2 가이드 음각부를 형성하는 프로브 모듈
24 24
제19항에 있어서,상기 손잡이부는 상기 지지부의 일측에 형성되며,상기 복수의 프로브-홀더 유닛 가운데 홀수번째 프로브-홀더 유닛의 상기 손잡이부와 짝수번째 프로브-홀더 유닛의 상기 손잡이부는 서로 반대측에 위치하는 프로브 모듈
25 25
제24항에 있어서,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 위치하여 상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드의 간격을 일정하게 유지시키는 지지 부재를 더 포함하며,상기 지지 부재는 그 내측에 상기 손잡이부가 끼워지기 위한 복수의 가이드 홈을 형성하는 프로브 모듈
26 26
제24항에 있어서,상기 손잡이부의 상측과 하측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성되고,상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드에는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지기 위한 제1 가이드 음각부 및 제2 가이드 음각부가 형성되는 프로브 모듈
27 27
제19항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 프로브 각각에는 상기 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 상기 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼가 형성되는 프로브 모듈
28 28
제19항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드에 형성된 상기 복수의 관통 홀은 2차원 구조로 배열되는 프로브 모듈
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 기계연구원 주요사업 나노소재 기반 기능성 소자 적용기술 개발(2/3)