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전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)을 포함하되,상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하고,상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편 또는 시편이 안착되는 시편 테이블과 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되며,상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 진공 챔버 유닛(110) 내부에 설치되는 이미지 검출기(120)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110)의 일 측에 설치되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하는 착탈 부재(300)를 더 포함하되,상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와,상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 5에 있어서,상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고,상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되어,상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 5에 있어서,상기 걸림구(310)는 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고,상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(312)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110) 내부에 배치되는 산란 방지 플레이트 유닛(400)을 더 포함하되,상기 산란 방지 플레이트 유닛(400)은 상기 진공 챔버 본체(110) 내부에 상기 진공 챔버 본체(110)의 높이 방향으로 배치도는 판체 형상의 산란 방지 플레이트(410)와,상기 진공 챔버 본체(110)를 관통한 후 상기 산란 방지 플레이트(410)에 고정되는 이송 로드(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 8에 있어서,상기 이송 로드(420)는 상기 진공 챔버 본체(110)와 나사 결합하도록 형성되며,상기 이송 로드(420)의 끝단에 상기 이송 로드(420)를 회전시키는 핸들(430)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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청구항 8에 있어서,상기 이송 로드(420)의 진공 챔버 본체(110) 외부에 설치되는 실린더(440)와, 상기 실린더(440)에 의해 전후진 되는 것으로서 상기 이송 로드(420)에 연결되는 실린더 로드(450)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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