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상면에 피처리기판이 흡착지지되며 직선이동가능하게 구비되는 스테이;상기 피처리기판과 이격되게 수직 배치되는 코팅블레이드; 및상기 코팅블레이드의 표면으로 나노입자코팅액을 공급하는 공급노즐을 포함하며,상기 피처리기판과 상기 코팅블레이드 사이의 이격 공간에 상기 공급노즐로부터 공급된 나노입자코팅액이 모세관현상에 의해 매니스커스를 형성하고, 상기 스테이가 이동됨에 따라서 상기 피처리기판 표면에 나노입자가 도포됨으로써 나노입자코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제1항에 있어서,상기 코팅블레이드는,코팅블레이드본체와;상기 코팅블레이드본체의 하부영역으로 연장 형성되며 일측면의 폭이 아래로 갈수록 줄어들게 형성된 경사부를 포함하며,상기 공급노즐은 상기 경사부에 접촉되게 배치되어 상기 나노입자코팅액을 상기 경사부의 표면으로 직접 공급하는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제2항에 있어서,상기 코팅블레이드는 상기 피처리기판의 폭과 대응되는 폭을 갖도록 형성되고, 상기 매니스커스가 상기 코팅블레이드의 전체 폭을 따라 형성되면, 상기 스테이가 상기 피처리기판의 길이방향을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제3항에 있어서,나노입자코팅액이 저장되는 코팅액탱크와;상기 코팅액탱크의 나노입자코팅액을 상기 공급노즐로 공급하는 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제4항에 있어서,상기 공급노즐은 상기 코팅블레이드의 폭방향으로 일정간격으로 복수개가 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제5항에 있어서,상기 복수개의 공급노즐로 나노입자코팅액을 각각 공급하는 복수개의 공급관을 더 포함하며,상기 복수개의 공급관은 동일한 길이로 형성되며 상기 복수개의 공급노즐로부터 분사되는 나노입자코팅액 분사압력이 동일해지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 코팅블레이드와 이격되게 배치되고, 상기 코팅블레이드와 선택적으로 사용되며 상기 피처리기판에 나노입자코팅액을 코팅하는 코팅바롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제7항에 있어서,상기 코팅블레이드의 피처리기판에 대한 높이를 조절하는 제1높이조절부와;상기 코팅바롤러의 피처리기판에 대한 높이를 조절하는 제2높이조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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제8항에 있어서,상기 제1높이조절부를 구동하는 구동부; 및상기 피처리기판과 상기 코팅블레이드간에 매니스커스가 형성되도록, 상기 구동부의 동작을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적기판 나노입자코팅장치
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