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전자 현미경의 주사 코일

  • 기술번호 : KST2015129862
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자 현미경의 주사 코일에 대한 것으로서 특히 스캔 영역의 시프트와 로테이션을 동시에 구현할 수 있는 장치 및 방법이다.
Int. CL H01J 37/28 (2006.01)
CPC H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01)
출원번호/일자 1020130149087 (2013.12.03)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1421094-0000 (2014.07.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140718) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임선종 대한민국 대전광역시 서구
2 최지연 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-1105540-93
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-1117237-99
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.01.22 수리 (Accepted) 9-1-2014-0006489-71
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0058496-36
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0265333-67
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0372259-63
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0372260-10
9 등록결정서
Decision to grant
2014.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0324790-73
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전자 현미경의 주사 코일(100)을 이용하여 스캔 영역을 시프트하는 방법에 있어서,상기 주사 코일(100)은 아크 형상으로서 동일 중심(O), 동일 반경(R) 및 동일 원주 길이(L)를 가지는 제1코일(110), 제2코일(120) 및 제3코일(130)을 포함하되,상기 제1코일(110), 제2코일(120) 및 제3코일은 상호 마주보도록 배치되고,상기 제1코일(110)과 제2코일(120)은 상호 직교되는 방향으로 배치되며,상기 제3코일(130)은 상기 제1코일(110)과 제2코일(120)사이에 45도 방향으로 배치되어,상기 제1코일(110) 또는 제2코일(120)에 더해지는 전류에 대한 특정 배수의 전류를 제3코일(130)에 투입하여 스캔 영역을 시프트하는 것을 특징으로 하는 스캔 영역의 시프트 방법
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삭제
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삭제
4 4
삭제
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전자 현미경의 주사 코일(100)을 이용하여 스캔 영역을 로테이션하는 방법에 있어서,상기 주사 코일(100)은 아크 형상으로서 동일 중심(O), 동일 반경(R) 및 동일 원주 길이(L)를 가지는 제1코일(110), 제2코일(120) 및 제3코일(130)을 포함하되,상기 제1코일(110), 제2코일(120) 및 제3코일은 상호 마주보도록 배치되고,상기 제1코일(110)과 제2코일(120)은 상호 직교되는 방향으로 배치되며,상기 제3코일(130)은 상기 제1코일(110)과 제2코일(120)사이에 45도 방향으로 배치되어,상기 제1코일(110), 제3코일(130) 및 제2코일(120)에 각각 가해지는 전류값을 시계방향 또는 반시계방향으로 인접하는 주사 코일에 이전 공급하여 스캔 영역을 로테이션하는 것을 특징으로 하는 스캔 영역의 로테이션 방법
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삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 산업부-국가연구개발사업(III) 정밀기계부품 가공용 고밀도 전자빔의 고속 청정 Finishing 공정 기술개발 (3/5)