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가동 스테이지 구동 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비

  • 기술번호 : KST2015129885
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가공 대상물의 위치를 제어할 수 있는 가동 스테이지 구동 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비에 관한 것으로서, 증착 장비의 챔버 내부에 설치되고, 플라즈마 형성 공간을 대향하여 설치되는 가동 스테이지; 상기 가동 스테이지를 전후진시키는 가동 스테이지 전후진 장치; 및 상기 챔버에 설치되고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치를 승하강시키는 가동 스테이지 승하강 장치;를 포함하고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있는 적어도 한 쌍의 랙기어와 피니언기어를 포함하고, 상기 가동 스테이지 승하강 장치는, 상기 가동 스테이지 전후진 장치와 상기 가동 스테이지 승하강 장치 사이의 기밀이 유지되도록 벨로우즈관을 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 16/458 (2006.01)
CPC C23C 16/458(2013.01)
출원번호/일자 1020130156635 (2013.12.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1624597-0000 (2016.05.20)
공개번호/일자 10-2015-0070499 (2015.06.25) 문서열기
공고번호/일자 (20160527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권정대 대한민국 경남 창원시 성산구
2 남기석 대한민국 경남 창원시 의창구
3 정용수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 조병진 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 김창수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
6 박성규 대한민국 경상남도 창원시 성산구
7 함명관 대한민국 경남 창원시 성산구
8 김동호 대한민국 경남 창원시 마산회원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-1151125-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0011077-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0335604-92
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0680605-94
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.07.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0680604-48
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0833772-91
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0099251-96
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0099262-98
10 등록결정서
Decision to grant		 2016.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0145594-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증착 장비의 챔버 내부에 설치되는 가동 스테이지;상기 가동 스테이지를 전후진시키는 가동 스테이지 전후진 장치; 및상기 챔버에 설치되고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치를 승하강시키는 가동 스테이지 승하강 장치;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있는 적어도 한 쌍의 랙기어와 피니언기어를 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는, 상기 가동 스테이지 전후진 장치와 상기 가동 스테이지 승하강 장치 사이의 기밀이 유지되도록 벨로우즈관을 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 가동 스테이지의 일측부에 설치되는 제 1 랙기어;상기 가동 스테이지의 타측부에 설치되는 제 2 랙기어;상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 이격공간에 설치되고, 상기 제 1 랙기어와 치합되는 구동 피니언기어; 및상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 상기 이격공간에 설치되고, 상기 제 2 랙기어와 치합되고, 상기 구동 피니언기어와 치합되는 종동 피니언기어;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 구동 피니언기어와 상기 종동 피니언기어를 기밀이 유지되고, 회전이 자유롭게 지지하며, 상기 가동 스테이지의 전후진 경로를 안내할 수 있도록 전후진 가이드부재가 설치되는 제 1 승하강대; 및상기 구동 피니언기어가 설치된 상기 제 1 승하강대의 일면의 반대면에 설치되고, 상기 구동 피니언기어를 회전시키는 전후진 구동 모터;를 더 포함하며,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 상기 챔버 사이에 설치되는 벨로우즈관;을 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 연결되는 제 2 승하강대;상기 챔버에 고정되고, 상기 제 2 승하강대의 승하강 경로를 안내할 수 있도록 승하강 가이드부재가 설치되는 고정대; 및상기 고정대에 설치되고, 상기 제 2 승하강대를 승하강시키는 승하강 구동 액츄에이터;를 더 포함하는, 가동 스테이지 구동 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 가동 스테이지는 테두리 방향에 히터가 설치되는 것인, 가동 스테이지 구동 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서,상기 증착 장비는 상압 화학기상증착(APCVD: Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비인, 가동 스테이지 구동 장치
8 8
증착 장비의 챔버 내부에 설치되고, 플라즈마 형성 공간을 대향하여 설치되는 가동 스테이지;상기 가동 스테이지를 전후진시키는 가동 스테이지 전후진 장치; 및상기 챔버에 설치되고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치를 승하강시키는 가동 스테이지 승하강 장치;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있는 적어도 한 쌍의 랙기어와 피니언기어를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 가동 스테이지의 일측부에 설치되는 제 1 랙기어;상기 가동 스테이지의 타측부에 설치되는 제 2 랙기어;상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 이격공간에 설치되고, 상기 제 1 랙기어와 치합되는 구동 피니언기어; 및상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 상기 이격공간에 설치되고, 상기 제 2 랙기어와 치합되고, 상기 구동 피니언기어와 치합되는 종동 피니언기어;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 구동 피니언기어와 상기 종동 피니언기어를 기밀이 유지되고, 회전이 자유롭게 지지하며, 상기 가동 스테이지의 전후진 경로를 안내할 수 있도록 전후진 가이드부재가 설치되는 제 1 승하강대; 및상기 구동 피니언기어가 설치된 상기 제 1 승하강대의 일면의 반대면에 설치되고, 상기 구동 피니언기어를 회전시키는 전후진 구동 모터;를 더 포함하며,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 상기 챔버 사이에 설치되는 벨로우즈관;을 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 연결되는 제 2 승하강대;상기 챔버에 고정되고, 상기 제 2 승하강대의 승하강 경로를 안내할 수 있도록 승하강 가이드부재가 설치되는 고정대; 및상기 고정대에 설치되고, 상기 제 2 승하강대를 승하강시키는 승하강 구동 액츄에이터;를 더 포함하는, 가동 스테이지 구동 장치
9 9
증착 장비의 챔버 내부에 설치되고, 플라즈마 형성 공간을 대향하여 설치되는 가동 스테이지;상기 가동 스테이지를 전후진시키는 가동 스테이지 전후진 장치; 및상기 챔버에 설치되고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치를 승하강시키는 가동 스테이지 승하강 장치;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있는 적어도 한 쌍의 랙기어와 피니언기어를 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는, 상기 가동 스테이지 전후진 장치와 상기 가동 스테이지 승하강 장치 사이의 기밀이 유지되도록 벨로우즈관을 포함하며,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 가동 스테이지의 일측부에 설치되는 제 1 랙기어;상기 가동 스테이지의 타측부에 설치되는 제 2 랙기어;상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 이격공간에 설치되고, 상기 제 1 랙기어와 치합되는 구동 피니언기어; 및상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 상기 이격공간에 설치되고, 상기 제 2 랙기어와 치합되고, 상기 구동 피니언기어와 치합되는 종동 피니언기어;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 구동 피니언기어와 상기 종동 피니언기어를 기밀이 유지되고, 회전이 자유롭게 지지하며, 상기 가동 스테이지의 전후진 경로를 안내할 수 있도록 전후진 가이드부재가 설치되는 제 1 승하강대; 및상기 구동 피니언기어가 설치된 상기 제 1 승하강대의 일면의 반대면에 설치되고, 상기 구동 피니언기어를 회전시키는 전후진 구동 모터;를 더 포함하며,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 상기 챔버 사이에 설치되는 벨로우즈관;을 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 연결되는 제 2 승하강대;상기 챔버에 고정되고, 상기 제 2 승하강대의 승하강 경로를 안내할 수 있도록 승하강 가이드부재가 설치되는 고정대; 및상기 고정대에 설치되고, 상기 제 2 승하강대를 승하강시키는 승하강 구동 액츄에이터;를 더 포함하는, 증착 장비
10 10
증착 장비의 챔버 내부에 설치되고, 플라즈마 형성 공간을 대향하여 설치되는 가동 스테이지;상기 가동 스테이지를 전후진시키는 가동 스테이지 전후진 장치; 및상기 챔버에 설치되고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치를 승하강시키는 가동 스테이지 승하강 장치;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있는 적어도 한 쌍의 랙기어와 피니언기어를 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는, 상기 가동 스테이지 전후진 장치와 상기 가동 스테이지 승하강 장치 사이의 기밀이 유지되도록 벨로우즈관을 포함하며,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 가동 스테이지의 일측부에 설치되는 제 1 랙기어;상기 가동 스테이지의 타측부에 설치되는 제 2 랙기어;상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 이격공간에 설치되고, 상기 제 1 랙기어와 치합되는 구동 피니언기어; 및상기 제 1 랙기어와 상기 제 2 랙기어 사이의 상기 이격공간에 설치되고, 상기 제 2 랙기어와 치합되고, 상기 구동 피니언기어와 치합되는 종동 피니언기어;를 포함하고,상기 가동 스테이지 전후진 장치는,상기 구동 피니언기어와 상기 종동 피니언기어를 기밀이 유지되고, 회전이 자유롭게 지지하며, 상기 가동 스테이지의 전후진 경로를 안내할 수 있도록 전후진 가이드부재가 설치되는 제 1 승하강대; 및상기 구동 피니언기어가 설치된 상기 제 1 승하강대의 일면의 반대면에 설치되고, 상기 구동 피니언기어를 회전시키는 전후진 구동 모터;를 더 포함하며,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 상기 챔버 사이에 설치되는 벨로우즈관;을 포함하고,상기 가동 스테이지 승하강 장치는,상기 제 1 승하강대와 연결되는 제 2 승하강대;상기 챔버에 고정되고, 상기 제 2 승하강대의 승하강 경로를 안내할 수 있도록 승하강 가이드부재가 설치되는 고정대; 및상기 고정대에 설치되고, 상기 제 2 승하강대를 승하강시키는 승하강 구동 액츄에이터;를 더 포함하는, 상압 화학기상증착 장비
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1 산업통상자원부 한국기계연구원부설재료연구소 주요사업 대면적실리콘박막태양전지핵심소재공정개발및평가기반구축(4/5)