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클리닝 가스 순환 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비

  • 기술번호 : KST2015129915
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 클리닝 가스를 챔버 내부에 골고루 공급할 수 있는 클리닝 가스 순환 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비에 관한 것으로서, 증착 장비의 챔버의 일부분에 형성된 클리닝 가스 투입구에 설치되고, 클리닝 가스를 챔버 내부로 공급하는 클리닝 가스 공급관; 상기 챔버의 타부분에 형성된 클리닝 가스 배출구에 설치되고, 챔버 내부의 클리닝 가스를 배출하는 클리닝 가스 배출관; 상기 클리닝 가스 공급관과 상기 클리닝 가스 배출관을 연결시키는 클리닝 가스 순환관; 및 상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 정제하는 클리닝 가스 정제 필터;를 포함하고, 상기 챔버 내부에서 클리닝 가스의 이동 경로가 길어지도록 상기 클리닝 가스 투입구는 상기 챔버의 상부의 제 1 모서리부, 제 2 모서리부, 제 3 모서리부 및 제 4 모서리부 중에서 어느 일 모서리부 근방에 설치되고, 상기 클리닝 가스 배출구는 상기 챔버의 하부의 제 5 모서리부, 제 6 모서리부, 제 7 모서리부 및 제 8 모서리부 중에서 상기 일 모서리부와 3차원 대각선 방향으로 반대편에 위치하는 다른 모서리부에 설치되는 것일 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/4401(2013.01)
출원번호/일자 1020140016196 (2014.02.12)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0095972 (2015.08.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권정대 대한민국 경남 창원시 성산구
2 남기석 대한민국 경남 창원시 의창구
3 나종주 대한민국 경기 성남시 분당구
4 김동호 대한민국 경남 창원시 마산회원구
5 정용수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
6 조병진 대한민국 경상남도 창원시 성산구
7 함명관 대한민국 경남 창원시 성산구
8 송명관 대한민국 울산 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0139050-74
2 보정요구서
Request for Amendment		 2014.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0031705-65
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2014-0210694-56
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0026584-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0526837-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2015-0906825-66
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0906827-57
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0053670-93
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2016.02.15 수리 (Accepted) 7-1-2016-0007386-56
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0228433-92
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.03.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0228480-27
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0198599-59
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
증착 장비의 챔버의 일부분에 형성된 클리닝 가스 투입구에 설치되고, 클리닝 가스를 챔버 내부로 공급하는 클리닝 가스 공급관;상기 챔버의 타부분에 형성된 클리닝 가스 배출구에 설치되고, 챔버 내부의 클리닝 가스를 배출하는 클리닝 가스 배출관;상기 클리닝 가스 공급관과 상기 클리닝 가스 배출관을 연결시키는 클리닝 가스 순환관; 및상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 정제하는 클리닝 가스 정제 필터;를 포함하고,상기 챔버 내부에서 클리닝 가스의 이동 경로가 길어지도록 상기 클리닝 가스 투입구는 상기 챔버의 상부의 제 1 모서리부, 제 2 모서리부, 제 3 모서리부 및 제 4 모서리부 중에서 어느 일 모서리부 근방에 설치되고, 상기 클리닝 가스 배출구는 상기 챔버의 하부의 제 5 모서리부, 제 6 모서리부, 제 7 모서리부 및 제 8 모서리부 중에서 상기 일 모서리부와 3차원 대각선 방향으로 반대편에 위치하는 다른 모서리부에 설치되는 것인, 클리닝 가스 순환 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 클리닝 가스 투입구는, 상기 챔버의 상면의 제 1 모서리부 근방에 설치되고,상기 클리닝 가스 배출구는, 상기 챔버의 제 1 측면, 제 2 측면, 제 3 측면 및 제 4 측면 중에서 제 3 측면의 하부의 제 7 모서리부 근방에 설치되는 것인, 클리닝 가스 순환 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 순환시키는 순환 펌프;를 더 포함하는, 클리닝 가스 순환 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 챔버는, 내벽에 상기 클리닝 가스를 가열하는 히터가 설치되는 것인, 클리닝 가스 순환 장치,
5 5
제 1 항에 있어서,상기 클리닝 가스 투입구를 통해 투입된 상기 클리닝 가스를 안내할 수 있도록 상기 클리닝 가스 투입구 근방에 설치되는 가스 투입 가이드 부재;를 더 포함하는, 클리닝 가스 순환 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 가스 투입 가이드 부재는,상기 챔버의 내벽을 따라 상기 내벽과 이격되게 설치되고, 복수개의 천공구가 형성되는 천공패널인, 클리닝 가스 순환 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 클리닝 가스 배출구를 통해 배출될 상기 클리닝 가스를 안내할 수 있도록 상기 클리닝 가스 배출구 근방에 설치되는 가스 배출 가이드 부재;를 더 포함하는, 클리닝 가스 순환 장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 가스 배출 가이드 부재는,상기 챔버의 내벽을 따라 상기 내벽과 이격되게 설치되고, 복수개의 천공구가 형성되는 천공패널인, 클리닝 가스 순환 장치
9 9
증착 장비의 챔버의 일부분에 형성된 클리닝 가스 투입구에 설치되고, 클리닝 가스를 챔버 내부로 공급하는 클리닝 가스 공급관;상기 챔버의 타부분에 형성된 클리닝 가스 배출구에 설치되고, 챔버 내부의 클리닝 가스를 배출하는 클리닝 가스 배출관;상기 클리닝 가스 공급관과 상기 클리닝 가스 배출관을 연결시키는 클리닝 가스 순환관; 및상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 정제하는 클리닝 가스 정제 필터;를 포함하고,상기 챔버 내부에서 클리닝 가스의 이동 경로가 길어지도록 상기 클리닝 가스 투입구는 상기 챔버의 상부의 제 1 모서리부, 제 2 모서리부, 제 3 모서리부 및 제 4 모서리부 중에서 어느 일 모서리부 근방에 설치되고, 상기 클리닝 가스 배출구는 상기 챔버의 하부의 제 5 모서리부, 제 6 모서리부, 제 7 모서리부 및 제 8 모서리부 중에서 상기 일 모서리부와 3차원 대각선 방향으로 반대편에 위치하는 다른 모서리부에 설치되는 것인, 증착 장비
10 10
증착 장비의 챔버의 일부분에 형성된 클리닝 가스 투입구에 설치되고, 클리닝 가스를 챔버 내부로 공급하는 클리닝 가스 공급관;상기 챔버의 타부분에 형성된 클리닝 가스 배출구에 설치되고, 챔버 내부의 클리닝 가스를 배출하는 클리닝 가스 배출관;상기 클리닝 가스 공급관과 상기 클리닝 가스 배출관을 연결시키는 클리닝 가스 순환관; 및상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 정제하는 클리닝 가스 정제 필터;를 포함하고,상기 챔버 내부에서 클리닝 가스의 이동 경로가 길어지도록 상기 클리닝 가스 투입구는 상기 챔버의 상부의 제 1 모서리부, 제 2 모서리부, 제 3 모서리부 및 제 4 모서리부 중에서 어느 일 모서리부 근방에 설치되고, 상기 클리닝 가스 배출구는 상기 챔버의 하부의 제 5 모서리부, 제 6 모서리부, 제 7 모서리부 및 제 8 모서리부 중에서 상기 일 모서리부와 3차원 대각선 방향으로 반대편에 위치하는 다른 모서리부에 설치되는 것인, 상압 화학기상증착(APCVD: Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 부설 재료연구소 주요사업 대면적 실리콘 박막태양전지 핵심소재 공정개발 및 평가 기반 구축 (5/5)