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박막 태양전지 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015129916
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상기 태양전지는 기판, 상기 기판 상에 형성된 전면 전극층, 상기 전면 전극층 상에 형성된 복수의 옥사이드층, 상기 옥사이드층 상에 형성된 광 흡수층 및 상기 광 흡수층 상에 형성되는 후면 전극층을 구비하고, 상기 복수의 옥사이드층은 다단 구조의 일함수(work function)를 가지도록 상기 복수의 옥사이드층의 각각은 크기가 서로 다른 일정한 일함수를 가진다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/0445 (2014.01)
CPC H01L 31/02167(2013.01) H01L 31/02167(2013.01) H01L 31/02167(2013.01)
출원번호/일자 1020130156636 (2013.12.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1529232-0000 (2015.06.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권정대 대한민국 경남 창원시 성산구
2 박성규 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 함명관 대한민국 경남 창원시 성산구
4 김창수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 김동호 대한민국 경남 창원시 마산회원구
6 남기석 대한민국 경남 창원시 의창구
7 조병진 대한민국 경상남도 창원시 성산구
8 정용수 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-1151126-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0073440-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0887583-22
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.02.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0188424-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0188425-64
7 등록결정서
Decision to grant
2015.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0175305-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 전면 전극층;상기 전면 전극층 상에 형성된 복수의 옥사이드층;상기 옥사이드층 상에 형성된 광 흡수층; 및상기 광 흡수층 상에 형성되는 후면 전극층;을 구비하고, 상기 복수의 옥사이드층은 다단 구조의 일함수(work function)를 가지도록 상기 복수의 옥사이드층의 각각은 크기가 서로 다른 일정한 일함수를 가지고,상기 복수의 옥사이드층은,상기 전면 전극층 상에 형성되고, 제 1 물질을 포함하는 제1 옥사이드층;상기 제1 옥사이드층 상에 형성되고, 상기 제 1 물질과 다른 제 2 물질을 포함하는 제 2 옥사이드층;을 포함하고,상기 제1 옥사이드층과 상기 제2 옥사이드층은 동일한 피라미드 텍스처링 표면을 가지는, 박막 태양전지
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 옥사이드층은 MoO3, WO3, V2O5 및 CrO3 으로 이루어진 군에서 선택된 상기 제 1 물질을 포함하고,상기 제 2 옥사이드층은 MoO3, WO3, V2O5 및 CrO3 으로 이루어진 군에서 선택된 상기 제 2 물질을 포함하고,상기 제 2 옥사이드층의 일함수는 상기 제 1 옥사이드층의 일함수보다 더 큰, 박막 태양전지
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 복수의 옥사이드층은 상기 제 2 옥사이드층 상에 형성되며, MoO3, WO3, V2O5 및 CrO3 으로 이루어진 군에서 선택된, 상기 제 1 물질 및 상기 제 2 물질과 다른, 제 3 물질을 포함하는 제 3 옥사이드층;을 더 구비하고, 상기 제 3 옥사이드층의 일함수는 상기 제 2 옥사이드층의 일함수보다 더 큰, 박막 태양전지
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 복수의 옥사이드층은 상기 제 3 옥사이드층 상에 형성되며, MoO3, WO3, V2O5 및 CrO3 으로 이루어진 군에서 선택된, 상기 제 1 물질, 상기 제 2 물질 및 상기 제 3 물질과 다른, 제 4 물질을 포함하는 제 4 옥사이드층;을 더 구비하고, 상기 제 4 옥사이드층의 일함수는 상기 제 3 옥사이드층의 일함수보다 더 큰, 박막 태양전지
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 제1 옥사이드층은 WO3층을 포함하고,상기 제2 옥사이드층은 V2O5층을 포함하는, 박막 태양전지
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 광 흡수층은 비정질 실리콘 박막(a-Si:H), 미세결정질 실리콘 박막(Micro-Crystalline Silicon, mc-Si:H), 결정질 실리콘 박막(Crystalline Silicon, Si:H), 다결정질 실리콘 박막(Polycrystalline Silicon, pc-Si:H) 및 나노결정질 실리콘박막(Nano-Crystalline Silicon, nc-Si:H) 중에서 선택되는 적어도 어느 하나의 실리콘 박막을 포함하는, 박막 태양전지
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 광 흡수층은 상기 복수의 옥사이드층 상에 형성된 진성(intrinsic) 실리콘 박막층; 및 상기 진성 실리콘 박막 층 상에 형성된 n타입 실리콘 박막층;을 포함하는, 박막 태양전지
8 8
제 1 항에 있어서,상기 기판은 FTO(Fluorine Tin Oxide)가 코팅된 유리 기판인, 박막 태양전지
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제 1 항에 있어서, 상기 전면 전극층은, FTO(Fluorine Tin Oxide), ITO(Indium Tin Oxide), ZnO:Al, AgO 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되거나, ITO/GZO 또는 ZnO/AZO로 이루어진 이중층으로 형성된, 박막 태양전지
10 10
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 상기 박막 태양전지를 제조하는 방법으로서, 상기 옥사이드층의 형성은 열 증착법(thermal evaporation), 스퍼터링(sputtering) 공정 또는 전자빔 증착(E-beam evaporation)을 이용하여 이루어지는 박막 태양전지의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기계연구원부설재료연구소 주요사업 대면적실리콘박막태양전지핵심소재공정개발및평가기반구축(4/5)