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SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015129941
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 유리 기판과, 중간층과, 마스터 스탬프의 패턴이 복제되는 패턴층을 포함하여 형성되는 SCIL(Substrate Conformal Imprinting Lithography) 공정용 레플리카 스탬프에 있어서, 유리 기판의 타측면에 보호 필름이 부착됨으로써, 유리 기판의 인장 강도는 유지하면서 유연성을 향상시키고, 이를 통해 SCIL 공정 인자의영향도를 완화시켜 SCIL 공정의 성공률을 높이는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL B29C 59/02 (2006.01) B29C 33/38 (2006.01)
CPC B29C 33/38(2013.01) B29C 33/38(2013.01) B29C 33/38(2013.01) B29C 33/38(2013.01) B29C 33/38(2013.01)
출원번호/일자 1020140060666 (2014.05.21)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1551772-0000 (2015.09.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.21)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
2 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
4 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0475335-73
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002866-18
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004922-13
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0048778-30
6 등록결정서
Decision to grant		 2015.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0432003-60
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유리 기판과, 상기 유리 기판의 일측면에 결합되는 중간층과, 상기 중간층의 일측면에 결합되어 마스터 스탬프의 패턴이 복제되는 패턴층을 포함하여 형성되는 SCIL(Substrate Conformal Imprinting Lithography) 공정용 레플리카 스탬프에 있어서,상기 레플리카 스탬프는 상기 유리 기판의 타측면에 보호 필름이 결합되는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프
2 2
제 1항에 있어서,상기 레플리카 스탬프는상기 유리 기판이 100~200㎛의 얇은 두께로 이루어지며,상기 보호 필름이 상기 유리 기판의 타측면에 편평하게 부착되는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프
3 3
제 2항에 있어서,상기 보호 필름은50~100㎛의 얇은 두께로 이루어지는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프
4 4
제 3항에 있어서,상기 보호 필름은PC(polycarbonate) 또는 PET(polyethylene terephthalate) 중 어느 하나이거나, i-line 파장 또는 g-line 파장에 투명한 재질로 제조되는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프
5 5
제 3항에 있어서,상기 보호 필름은상기 유리 기판의 크기 및 형태 대응되도록 형성되어 상기 유리 기판에 부착되는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프
6 6
제 1항 및 제 5항 중 어느 한 항에 의한 SCIL 공정용 레플리카 스탬프를 제조하는 방법에 있어서,a) 마스터 스탬프 상면의 전 면적에 걸쳐 패턴층 재료가 부착되는 단계;b) 상기 마스터 스탬프 상에 도포된 상기 패턴층 재료가 경화되어 상기 패턴층이 형성되는 단계c) 편평한 판 위에 놓인 상기 보호 필름에 접착제가 도포되는 단계;d) 상기 보호 필름 상측에 상기 유리 기판이 배치되고, 상기 접착제가 상기 유리 기판에 의해 가압되면서 퍼져 상기 유리 기판에 보호 필름이 부착되는 단계;e) 상기 보호필름의 접착제가 경화되는 접착제 경화 단계;f) 상기 패턴층 상면에 중간층 재료가 배치되는 단계;g) 상기 중간층 재료 상측에 기판층을 이루는 상기 유리 기판이 배치되어, 상기 중간층 재료가 상기 유리 기판에 의해 가압되면서 퍼진 다음, 경화되어 중간층 및 기판층이 형성되는 단계; 및h) 상기 마스터 스탬프가 제거되는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 제조 방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 c) 단계에서는상기 접착제가 스핀 코팅에 의해 고르게 펴지는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 제조 방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 e) 단계에서는상기 접착제가 자외선 또는 열에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (3/5)