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테이블의 상부에 이격되어 구비되는 롤유닛 이송스테이지;상기 롤유닛 이송스테이지의 일측에 결합되어 길이 방향으로 이송 가능한 자외선 경화형 롤유닛;상기 롤유닛 이송스테이지의 타측에 결합되어 길이 방향으로 이송 가능한 열 경화형 롤유닛; 및상기 테이블에 장착되어 높이 방향으로 이송 가능한 평판유닛; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제1항에 있어서,상기 롤유닛 이송스테이지는,수평이송부에 일측이 결합되고 타측이 자외선 경화형 롤유닛에 결합되며, 제1이송모터에 연결되어 상기 자외선 경화형 롤유닛을 길이 방향으로 이송시키는 제1이송슬라이더; 및수평이송부에 일측이 결합되고 타측이 열 경화형 롤유닛에 결합되며, 제2이송모터에 연결되어 상기 열 경화형 롤유닛을 길이 방향으로 이송시키는 제2이송슬라이더; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제2항에 있어서,상기 수평이송부의 양측에는 스토퍼가 돌출 형성되고, 상기 제1이송슬라이더에는 제1스토퍼를 감지하여 상기 자외선 경화형 롤유닛의 초기위치를 설정하고 제어할 수 있는 제1초기화 센서가 상기 제1스토퍼를 향해 장착되며, 상기 제2이송슬라이더에는 제2스토퍼를 감지하여 상기 열 경화형 롤유닛의 초기위치를 설정하고 제어할 수 있는 제2초기화 센서가 상기 제2스토퍼를 향해 장착되며,상기 제1이송슬라이더와 제2이송슬라이더가 서로 마주보는 면에는 제1근접센서와 제2근접센서가 장착되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제1항에 있어서,상기 평판유닛은 평면형 기판 또는 평면형 스탬프가 장착되는 제1고정부 및 제2고정부가 형성되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제1항에 있어서,상기 자외선 경화형 롤유닛 및 열 경화형 롤유닛은 회전되는 투명튜브 또는 롤의 외주면에 패턴이 형성되거나 필름형 기판 또는 패턴이 형성된 필름형 스탬프가 부착되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제1항에 있어서,상기 자외선 경화형 롤유닛은,프레임;상기 프레임에 회전 가능하도록 결합되는 한 쌍의 고정홀더;상기 고정홀더 사이에 고정되는 투명튜브;상기 투명튜브를 회전시키는 회전모터; 및상기 프레임에 결합되며, 상기 투명튜브의 내부에 이격되어 구비되는 자외선 조사장치; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제6항에 있어서,상기 프레임에 회전스테이지가 결합되고 상기 자외선 조사장치는 회전스테이지에 결합되어, 상기 자외선 조사장치는 중심축을 기준으로 회전되는 각도가 조절되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제6항에 있어서,상기 회전모터 및 하나의 고정홀더가 일체형으로 결합되어, 보조축을 따라 상기 프레임에 중심축 방향으로의 탈부착 및 보조축을 중심으로 한 회전이 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제1항에 있어서,상기 열 경화형 롤유닛은,프레임;상기 프레임에 회전 가능하도록 결합되는 한 쌍의 고정홀더;상기 고정홀더 사이에 고정되는 롤;상기 롤을 회전시키는 회전모터; 및상기 프레임에 결합되며, 상기 롤의 내부에 이격되어 구비되는 원통형 가열냉각장치; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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제9항에 있어서,상기 원통형 가열냉각장치는,몸체에 원주방향을 따라 이격되어 구비되는 다수개의 히터;상기 몸체에 형성된 냉각유로; 및상기 몸체에 구비되는 온도센서; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치
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롤유닛 이송스테이지에 결합되어 길이 방향으로 이송 가능한 자외선 경화형 롤유닛 및 열 경화형 롤유닛을 상기 롤유닛 이송스테이지의 초기 위치인 양단에 배치시키는 단계(S10);상기 자외선 경화형 롤유닛 및 열 경화형 롤유닛 중 어느 하나의 롤유닛이 이동되어 초기 위치를 벗어났을 때 나머지 하나의 롤유닛은 초기 위치에서 대기하는 단계(S20); 및상기 자외선 경화형 롤유닛 또는 열 경화형 롤유닛이 이동되어 서로 근접되는 경우, 일정거리 이상으로 근접되면 제어장치를 통해 이송되는 롤유닛의 이송을 정지시키는 단계(S30); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 리소그래피 장치의 제어방법
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