요약 |
수평 이송식 전도성 금속필름 코팅장치가 개시되어 있다.개시된 수평 이송식 전도성 금속필름 코팅장치는 연성기판을 공급하는 공급롤; 상기 연성기판을 회수하는 회수롤; 상기 공급롤과 회수롤의 사이에 소정 간격으로 수평 배치되며, 상기 기판의 저면에 접촉된 채 기판이 공급롤로부터 회수롤로 수평 이동되도록 가이드 하는 다수의 수평 가이드 롤; 상기 연성기판과 동일 레벨로 배치되어, 상기 공급롤에서 공급되는 연성기판의 표면에 접착제 역할을 하는 촉매를 코팅하여 촉매층을 형성하는 촉매층 형성용 슬롯다이; 및 상기 연성기판과 동일한 레벨로 배치됨과 아울러 상기 촉매층 형성용 슬롯다이의 차기 위치에 배치되어, 상기 연성기판의 촉매층 상에 도전체를 코팅하여 도전체층을 형성하는 도전체층 형성용 슬롯다이;를 포함하며,상기 촉매층 형성용 슬롯다이의 이전 위치에 배치되어, 상기 공급롤로부터 공급되는 연성기판의 표면을 세척액에 의해 세척하는 세척유닛을 더 포함하고, 상기 세척유닛과 상기 촉매층 형성용 슬롯다이 사이에 배치되어, 상기 세척된 연성기판을 건조시키는 건조유닛을 더 포함하며, 상기 촉매층 형성용 슬롯다이와 도전체층 형성용 슬롯다이 사이에 배치되어, 상기 슬롯다이에 코팅된 촉매층에 근적외선을 조사하여 경화시켜주는 제1 근적외선 드라이어를 더 포함하고, 상기 도전체층 형성용 슬롯다이의 차기 위치에 배치되어, 상기 슬롯다이에 코팅된 도전체층을 경화시켜주는 제2 근적외선 드라이어를 더 포함하며, 상기 촉매층 형성용 슬롯다이 및 도전체층 형성용 슬롯다이는, 촉매층 형성 및 도전체층을 형성하는 과정에서 발생되는 수분 및 산소를 제거하기 위해 그 내부가 고순도의 아르곤 또는 질소 분위기로 조성된 퍼징챔버 내에 위치하는 것을 더 포함하는 것이다.
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