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유체를 여과하도록 유로상에 형성되는 필터에 있어서,전기 도전성을 갖는 소재로 이루어져 상기 필터의 표면에 형성되는 도전성막;상기 도전성막에 설치되고, 외부전원과 연결되어 상기 도전성막에 전위차를 인가하는 전극;상기 도전성막의 표면 전체에 형성되는 절연막;을 포함하고, 상기 도전성막은 전류를 흘려주면 주울(joule) 열을 생성하는 것을 특징으로 하는 절연막이 코팅된 발열필터
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제 1항에 있어서,상기 절연막은 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 하프늄(Hf), 탐탈럼(Ta) 및 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 절연 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 절연막이 형성된 발열필터
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제 1항에 있어서,상기 절연막은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)으로 상기 도전성막의 표면에 형성된 것을 특징으로 하는 절연막이 코팅된 발열필터
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제1항에 있어서,상기 절연막은 화학기상증착(CVD, chemical vapor deposition)방법으로 상기 도전성막의 표면에 형성된 것을 특징으로 하는 절연막이 형성된 발열필터
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