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초전도 선재용 완충층의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130036
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 초전도 선재용 완충층은, 진공분위기에서 아르곤 가스를 공급하여 이축 배향된 금속기판의 일측에 RF-Sputtering 방법으로 증착됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 초전도 선재용 완충층의 제조방법은, 이축 배향된 금속기판과 금속산화물 타겟을 증착장치 내부에 장입하는 준비단계와, 상기 증착장치 내부를 진공분위기로 조성하는 진공조성단계와, 상기 증착장치 내부에 아르곤 가스를 공급하고, 상기 금속기판을 가열하는 제1열처리단계와, 상기 금속산화물 타겟을 스퍼터링하여 금속기판 일면에 완충층을 증착하는 완충층증착단계와, 상기 완충층을 가열하여 열처리하는 제2열처리단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/35 (2006.01) H01B 12/06 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01)
CPC C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01)
출원번호/일자 1020100049630 (2010.05.27)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0998851-0000 (2010.12.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20101208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정국채 대한민국 경상남도 진해시
2 정태정 대한민국 경상남도 창원시
3 최규채 대한민국 부산광역시 동래구
4 이정구 대한민국 경상남도 창원시 가
5 김영국 대한민국 경상남도 마산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0340878-72
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0340566-32
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2010.05.31 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2010.06.18 수리 (Accepted) 9-1-2010-0039470-28
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0354706-57
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.10.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0644331-62
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.10.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0644336-90
8 등록결정서
Decision to grant
2010.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0535883-65
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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이축 배향된 금속기판과 금속산화물 타겟을 증착장치 내부에 장입하는 준비단계와,상기 증착장치 내부를 진공분위기로 조성하는 진공조성단계와,상기 증착장치 내부에 아르곤 가스를 공급하고, 상기 금속기판을 가열하는 제1열처리단계와,상기 금속산화물 타겟을 스퍼터링하여 가열된 금속기판 일면에 완충층을 증착하는 완충층증착단계와,상기 완충층을 가열하여 열처리하는 제2열처리단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초전도 선재용 완충층의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 제1열처리단계 내지 제2열처리단계는,아르곤 분위기에서 실시됨을 특징으로 하는 초전도 선재용 완충층의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 제1열처리단계 내지 제2열처리단계는,동일한 가열수단을 이용하여 열처리하는 과정임을 특징으로 하는 초전도 선재용 완충층의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 완충층증착단계와 제2열처리단계는 교번하여 다수 회 실시됨을 특징으로 하는 초전도 선재용 완충층의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 부설 재료연구소 과학기술국제화사업 초전도 재료 및 응용을 위한 혁신적 자속고정점의 설계 및 개발