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롤스탬프 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130130
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤스탬프 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게, 평면 위에 패턴이 형성된 마스터 스탬프와, 상기 마스터 스탬프와 접한 상태로 회전하여 외주면에 도포된 광경화성 레지스트에 상기 마스터 스탬프의 패턴이 전사되는 원통형 롤 형태인 기판롤이 구비되되, 상기 마스터 스탬프 및 기판롤이 접하는 영역에 선택적으로 자외선이 조사되도록 함으로써, 나노패턴 및 마이크로패턴이 복합적으로 형성되도록 할 수 있는 롤스탬프 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL B29C 33/42 (2006.01) B29C 59/04 (2006.01)
CPC B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01) B29C 59/165(2013.01)
출원번호/일자 1020120100269 (2012.09.11)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1437855-0000 (2014.08.29)
공개번호/일자 10-2014-0033851 (2014.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20140904) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.11)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 김기홍 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0731243-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0044909-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0711964-53
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-1122613-71
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1122597-27
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0204626-12
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0491177-20
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0491169-65
10 등록결정서
Decision to grant
2014.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0423310-26
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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평면 위에 패턴이 형성된 마스터 스탬프(100)와, 상기 마스터 스탬프(100) 상측에 구비되며, 상기 마스터 스탬프(100)와 접하여 회전함으로써, 외주면에 도포된 광경화성 레지스트에 상기 마스터 스탬프(100)의 패턴이 전사되는 원통형 롤 형태인 기판롤(200)을 포함하는 롤스탬프 제조장치(1)를 이용한 롤스탬프 제조방법에 있어서,a) 상기 마스터 스탬프(100) 및 상기 기판롤(200)이 접촉되어 일정한 힘으로 가압되는 단계(S100);b) 상기 마스터 스탬프(100)의 회전방향과, 상기 기판롤(200)이 회전하는 방향이 서로 반대되도록 상기 마스터 스탬프(100) 및 기판롤(200)이 이송되는 단계(S200);c) 상기 기판롤(200)과 접하는 영역의 상기 마스터 스탬프(100)의 하측에 자외선 조사장치(300)가 구비되어 선택적으로 자외선이 조사되는 단계(S300); 및d) 상기 기판롤(200)이 현상액에 담가져 레지스트가 경화되지 않은 영역이 제거되는 단계(S400); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
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제 7항에 있어서,상기 롤스탬프 제조방법은자외선이 조사되는 단계(S300)에서 자외선 조사장치(300)가 상기 기판롤(200)의 회전축(210) 방향과 나란하게 이송되어 조사되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
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제 8항에 있어서,상기 롤스탬프 제조방법은상기 자외선 조사장치(300)가 점멸되어 패턴이 형성되는 영역이 조절되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
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제 9항에 있어서,상기 롤스탬프 제조방법은상기 자외선 조사장치(300)에서 자외선이 조사되는 조사구(310)의 크기가 조절되어 패턴의 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (1/5)