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이온빔 소스에서 양극과의 사이에서 전기장을 형성하여 이온빔을 생성하고, 상기 이온 빔을 인출하기 위한 개구를 갖는 음극 몸체; 및상기 음극 몸체에서 상기 개구 부위의 표면에 형성되며, 상기 이온 빔에 의해 음극 몸체가 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 음극 몸체보다 낮은 스퍼터링 수율을 갖는 물질로 이루어지는 코팅층을 포함하고, 상기 음극 몸체를 상기 이온빔 소스의 몸체에 정확하게 위치시키기 위해 상기 음극 몸체는 저면에 상기 이온빔 소스의 몸체와의 결합을 위한 체결홈을 가지며, 상기 음극 몸체의 냉각을 위해 상기 음극 몸체 내부에 냉매를 순환시키기 위한 유로를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스의 음극
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제1항에 있어서, 상기 물질은 텅스텐, 탄탈륨, 몰리브덴, 탄소, 티타늄, 바나듐, 주석, 니오브, 붕소, 코발트, 지르코늄, 규소, 베릴륨 중 어느 하나 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 하는 이온빔 소스의 음극
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제1항에 있어서, 상기 코팅층이 상기 음극 몸체에 부착되도록 상기 음극 몸체와 상기 코팅층 사이에 접착층을 구비하고, 상기 접착층의 물질은 크롬, 니켈, 구리, 실리콘, 텅스텐, 티타늄인 것을 특징으로 하는 이온빔 소스의 음극
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제1항에 있어서, 상기 코팅층의 두께는 0
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