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빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법

  • 기술번호 : KST2015130214
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 단일 박막 또는 물성이 비슷한 다층 박막에서 선택적 제거 또는 정밀한 가공 깊이 제어가 가능하도록 하는, 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법을 제공함에 있다.
Int. CL B23K 26/36 (2014.01) B23K 26/06 (2014.01)
CPC B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01)
출원번호/일자 1020140046602 (2014.04.18)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0121340 (2015.10.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성학 대한민국 대전광역시 서구
2 김훈영 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤지욱 대한민국 대전광역시 유성구
4 최원석 대한민국 대전광역시 유성구
5 김재구 대한민국 충청남도 금산군
6 황경현 대한민국 서울특별시 중구 청구로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0370955-86
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002866-18
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004921-78
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0025425-95
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0261454-71
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0593880-14
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0593877-76
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0720200-81
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2015.11.04 수리 (Accepted) 7-1-2015-0050628-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가공 대상물(50)에 펄스 레이저가 조사되어 가공을 수행하는 레이저 가공 장치(10)를 사용하는 레이저 가공 방법으로서,레이저 광원(1)으로부터 출사되어 가변 슬릿(3), 결상 렌즈(4), 대물 렌즈(2)를 순차적으로 통과함으로써 형상이 쉐이핑되고 프로파일이 준-플랫탑(quasi-flat-top) 프로파일로 변환된 레이저 빔이, 셔터(5)의 개방 및 폐쇄에 의하여 미리 결정된 시간 간격 동안만 상기 가공 대상물(50)에 조사되는 단위 가공 단계;상기 단위 가공 단계가 사용자 입력에 의하여 결정된 횟수만큼 반복 수행되어 가공 깊이가 조절되면서 가공이 이루어지는 깊이 제어 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 단위 가공 단계는상기 레이저 광원(1)으로부터 조사되는 레이저 빔의 광경로 상에 배치된 상기 셔터(5)가 개방되는 슈팅 시작 단계,레이저 빔의 광경로 상에 배치된 상기 가변 슬릿(3)에 의하여, 레이저 빔의 일부만이 통과되어 상기 가변 슬릿(3)에 형성된 구멍 형상으로 레이저 빔이 쉐이핑(shaping)되는 빔 쉐이핑 단계,쉐이핑된 빔이 상기 결상 렌즈(4) 및 상기 대물 렌즈(2)를 순차적으로 통과하여 디포커싱(defocusing)됨으로써 준-플랫탑 프로파일을 가지는 상태로 변환되는 프로파일 변환 단계,준-플랫탑 프로파일을 가지는 레이저 빔이 상기 가공 대상물(50)에 조사되는 펄스 슈팅 단계,상기 셔터(5)가 폐쇄되는 슈팅 완료 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 방법은상기 단위 가공 단계가 수행되는 미리 결정된 시간 간격이 상기 레이저 광원(1)에서 발생되는 레이저 펄스폭의 자연수 배수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 방법은상기 깊이 제어 단계 시 상기 단위 가공 단계들이 반복 수행되는 과정에서, 각각의 상기 단위 가공 단계에서의 상기 가변 슬릿(3) 개방 크기 및 형상이 서로 동일한 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 방법은상기 깊이 제어 단계 시 상기 단위 가공 단계들이 반복 수행되는 과정에서, 각각의 상기 단위 가공 단계에서의 상기 가변 슬릿(3) 개방 크기가 횟수에 따라 순차적으로 작아지는 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 방법은상기 레이저 광원(1)의 펄스폭이 펨토초 이하인 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 방법은가공 깊이가 수 내지 수백 nm 범위인 형상 가공을 수행하는 것을 특징으로 하는 빔 쉐이핑 및 펄스 횟수 조절을 이용하여 박막 가공 깊이를 제어하는 레이저 가공 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.