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레이저 가공을 위한 레이저를 집광하여 대상물을 향해 조사하는 광학계와, 상기 광학계에 진동을 가하는 액추에이터를 포함하는 레이저 가공 용 진동 장치에 있어서,레이저 조사 방향 및 상기 대상물의 두께 방향을 종축방향, 상기 종축방향에 수직한 방향을 평면 방향이라 할 때,상기 레이저 가공 용 진동 장치는,상기 광학계를 고정하는 젠더; 및종축방향의 레이저 조사 위치를 변경시키도록 상기 젠더의 평면 방향 둘레에 결합되어 상기 액추에이터의 변위에 따른 종축방향 진동을 상기 젠더에 전달하는 진동 몸체; 를 포함하되,상기 진동 몸체는,젠더의 둘레면에 결합되는 고정프레임;상기 고정프레임의 평면 방향 양측에서 평면 방향 외측으로 일정거리 이격 배치되는 수직프레임; 및상기 고정프레임의 평면 방향 양측과 상기 수직프레임을 연결하며, 종축방향에 수직하게 형성된 탄성프레임;를 포함하는, 레이저 가공 용 진동 장치
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제 1항에 있어서,상기 진동 몸체는,복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합되는, 레이저 가공 용 진동 장치
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제 2항에 있어서,상기 진동 몸체는,복수 개가 상기 젠더의 둘레에 폐곡선을 이루며 결합되는, 레이저 가공 용 진동 장치
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제 1항에 있어서,상기 진동 몸체는,상기 한 쌍의 수직프레임의 상측을 연결하는 상부 수평프레임; 및상기 한 쌍의 수직프레임의 하측을 연결하는 하부 수평프레임; 을 포함하며,상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합 시복수 개의 상부 수평프레임 및 복수 개의 하부 수평프레임이 서로 결합되어 폐곡선을 이루도록 상기 상부 수평프레임 및 하부 수평프레임은 평면 방향으로 호를 이루는, 레이저 가공 용 진동 장치
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제 1항에 있어서, 상기 진동 몸체는, 복수 개가 상기 젠더의 둘레에 방사상으로 결합 시 상기 수직프레임의 원주방향 측면에 결합면이 형성되는, 레이저 가공 용 진동 장치
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제 1항에 있어서,상기 레이저 가공 용 진동 장치는,내부에 상기 진동 몸체가 수용되는 서포트; 를 더 포함하며,상기 액추에이터는, 상기 서포트의 상측과 상기 젠더 사이에 구비되어 상기 젠더에 종축방향 변위를 가하는, 레이저 가공 용 진동 장치
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제 7항에 있어서,상기 액추에이터는,상측 내주면이 상기 서포트의 상단에서 하측으로 연장 형성된 액추에이터 고정부의 외주면에 결합되고, 하측 외주면이 상기 젠더의 상측에서 하방으로 함몰된 액추에이터 고정턱에 결합되는, 레이저 가공 용 진동 장치
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