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플라즈마 반응기에 있어서,대면적에 플라즈마를 발생시키도록 세라믹종류의 유전체(10) 상측에 소정폭과 소정 깊이를 가지며, 길이방향으로 형성되고, 상측으로 향하며, 단면상 'ㄷ'자 형태의 홈을 가공하여 내측면의 표면 전체에 'ㄷ'자 형태로 금속전극(20)을 코팅하고, 상기 금속전극(20)의 표면을 보호 및 절연을 위한 보호절연코팅재(30)를 상기 금속전극(20) 표면에 코팅하며, 상기 유전체(10)의 하단측에 접지전극홈이 형성되어지고, 상기 접지전극홈에 접지전극(50)을 코팅하며, 상기 접지전극(50)의 표면에 절연코팅재(40)를 코팅하고, 플라즈마의 발생을 위하여 다수개의 유전체를 일정간격 이격 배치시켜 구성하는 것을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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플라즈마 반응기에 있어서,대면적에 플라즈마를 발생시키도록 세라믹종류의 유전체(10) 상측에 소정폭과 소정 깊이를 가지며, 길이방향으로 형성되고, 상측으로 향하며, 단면상 'ㄷ'자 형태의 홈을 가공하여 내측면의 표면 전체에 'ㄷ'자 형태로 금속전극(20)을 코팅하고, 상기 금속전극(20)의 표면을 보호 및 절연을 위한 보호절연코팅재(30)를 상기 금속전극(20) 표면에 코팅하며, 상기 유전체(10)의 하단측에 접지전극홈이 형성되어지고, 상기 접지전극홈에 접지전극(50)을 코팅하며, 상기 접지전극(50)의 표면에 절연코팅재(40)를 코팅한 것을 포함하여 구성된 유전체(10)의 양측에 소정 두께를 가지고 형성된 판형태의 측면접지전극(60)을 소정간격 이격시켜 배치한 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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플라즈마 반응기에 있어서,대면적에 플라즈마를 발생시키도록 세라믹종류의 유전체(10) 상측에 소정폭과 소정 깊이를 가지며, 길이방향으로 형성되고, 상측으로 향하며, 단면상 'ㄷ'자 형태의 홈을 가공하여 내측면의 표면 전체에 'ㄷ'자 형태로 금속전극(20)을 코팅하고, 상기 금속전극(20)의 표면을 보호 및 절연을 위한 보호절연코팅재(30)를 상기 금속전극(20) 표면에 코팅하며, 상기 유전체(10)의 하단측에 접지전극홈이 형성되어지고, 상기 접지전극홈에 접지전극(50)을 코팅하며, 상기 접지전극(50)의 표면에 절연코팅재(40)를 코팅한 것을 포함하여 구성된 유전체(10)의 양측에 'H'자 형상으로 형성된 측면접지전극(70)을 소정간격을 이격시켜 배치하되, 상기 측면접지전극(70)의 중앙에 인젝션홀(71)이 형성된 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제 2항에 있어서,상기 측면접지전극은 아노다이징 처리된 금속을 사용하는 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제 2항에 있어서,상기 측면접지전극(60)은 상측을 향하는 'ㄷ'자 형태로 형성되어 상측의 홈으로 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유전체(10)의 강제 냉각을 수행하여 플라즈마의 온도조절 및 반응기의 내구성 향상을 위하여, 상기 유전체(10)의 보호절연코팅재(30) 상측으로 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 플라즈마 온도를 더욱 낮출 필요가 있을 경우에, 투입되는 공정가스를 외부에 설치된 냉동기를 통한 강제 냉각을 수행하여 리모트 플라즈마의 온도를 감소시키도록 이루어진 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 고전압발생을 의한 전원장치는 10 kHz 이상 교류전원인 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 유전체(10)의 간극은 1mm이내 인 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보호절연코팅재(30)는 테프론 코팅 또는 세라믹용사코팅 중 어느한가지 또는 두가지를 동시에 사용하며, 상기 유전체(10)의 하단에 코팅되는 절연코팅재(40)는 세라믹용사코팅재을 사용하는 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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11
제 3항에 있어서,상기 측면접지전극(70)의 중앙에 형성된 인젝션홀(71)에 분사노즐을 설치하여 화학약품 또는 순수 또는 수증기 중 어느한가지 또는 두가지 이상을 주입하는 것을 특징으로 하는 리모트 저온 플라즈마 반응기
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