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소성단계를 이용한 배선을 포함하는 기판의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130287
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판의 표면을 초발수 처리하는 초발수 처리단계; 상기 초발수 처리된 상기 기판의 표면에 친수성을 가지는 패턴을 형성하는 친수패터닝단계; 상기 친수성을 가지는 패턴과 대응되는 위치에 전도성 용액을 위치시키는 배선단계; 상기 전도성 용액을 건조하여 전도성 배선을 형성하는 단계; 및 상기 전도성 배선을 열처리하는 소성단계를 포함하고, 상기 열처리 온도는 200 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법에 관한 것으로, 배선단계 및 건조단계를 거친 이후, 배선이 형성된 기판을 금속 입자간에 결합을 형성하기 위한 소성 단계를 거침으로써, 금속배선의 전기적 특성을 더욱 향상시킬 수 있다.
Int. CL H05K 3/10 (2006.01) H05K 3/00 (2006.01)
CPC H05K 3/1275(2013.01) H05K 3/1275(2013.01) H05K 3/1275(2013.01)
출원번호/일자 1020130040936 (2013.04.15)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0123734 (2014.10.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.15)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 손수정 대한민국 경남 양산시
2 최철진 대한민국 경남 창원시 의창구
3 나종주 대한민국 경기 성남시 분당구
4 김동수 대한민국 경남 김해시 반룡로 **, **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0324615-10
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0092594-00
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0331285-45
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0331275-99
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0511871-15
6 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.08.27 수리 (Accepted) 7-1-2014-0032569-11
7 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2014.11.27 수리 (Accepted) 7-8-2014-0028950-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판의 표면을 초발수 처리하는 초발수 처리단계;상기 초발수 처리된 상기 기판의 표면에 친수성을 가지는 패턴을 형성하는 친수패터닝단계;상기 친수성을 가지는 패턴과 대응되는 위치에 전도성 용액을 위치시키는 배선단계; 상기 전도성 용액을 건조하여 전도성 배선을 형성하는 단계; 및상기 전도성 배선을 열처리하는 소성단계를 포함하고,상기 열처리 온도는 200 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 전도성 용액은 전도성 입자를 포함하며, 나노 와이어(Nano-Wire) 및 탄소나노튜브(CNT) 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 친수패터닝단계는 형성하고자 하는 회로 패턴을 포함하는 마스크를 위치시켜, 상기 초발수 처리된 상기 기판의 표면을 노광함으로써 회로 패턴과 동일한 부위가 친수 성능을 갖도록 하는 방법이거나, 레이저빔을 이용하여 상기 기판의 표면에 형성하고자 하는 회로 패턴을 직접 패터닝하는 방법이거나, 기계장치를 이용하여, 상기 기판의 표면에 형성하고자 하는 회로 패턴을 직접 패터닝하는 방법인 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 전도성 입자는 은 나노입자이고, 상기 나노 와이어는 은 나노 와이어이며, 상기 나노 와이어 및 상기 탄소나노튜브는 수백 나노미터 내지 수십 마이크로미터의 크기인 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 친수성을 가지는 패턴은 형성하고자 하는 배선 패턴과 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 전도성 용액은 전도성 입자를 포함하며, 상기 전도성 입자의 분말 사이즈가 200nm인 경우, 상기 전도성 입자의 함량비는 전도성 용액 100wt% 대비 50wt% 이상, 80wt% 미만인 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 전도성 용액은 전도성 입자를 포함하며,상기 전도성 입자의 분말 사이즈가 50nm인 경우, 상기 전도성 입자의 함량비는 전도성 용액 100wt% 대비 25wt% 이상, 30wt% 미만인 것을 특징으로 하는 배선을 포함하는 기판의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 부설 재료연구소 글로벌프론티어연구개발사업 전도성 잉크 및 고신뢰성 배선 기술 개발(2/2)