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하기 화학식 1로 표시되는 판상의 무연 압전 세라믹스의 결정 배향용 템플레이트
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하기 화학식 2로 표시되는 판상의 무연 압전 세라믹스의 결정 배향용 템플레이트
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출발물질인 Bi2O3, Na2CO3, Nb2O5 및 Ta2O5와 NaCl를 평량하되, Bi2O3, Na2CO3, Nb2O5 및 Ta2O5의 함량은 Bi2
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4
제3항에 있어서, 상기 단계 A의 출발물질인 Bi2O3, Na2CO3, Nb2O5 및 Ta2O5의 함량은 Bi2
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삭제
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제3항에 있어서, 상기 단계 B의 1차 열처리는 1100∼1200 ℃에서 5∼7 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 결정 배향용 템플레이트 제조방법
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7
제3항에 있어서, 상기 단계 B에서 1차 열처리된 분말은 50∼80 ℃ 온도범위인 증류수에 용해되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 결정 배향용 템플레이트 제조방법
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8
제3항에 있어서, 상기 단계 C에서 혼합되는 Na2CO3의 함량은 Bi2
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9
삭제
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10
제3항에 있어서, 상기 단계 C의 2차 열처리는 950∼1050 ℃에서 4∼6 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 결정 배향용 템플레이트 제조방법
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