| 1 |
1
회절 패턴을 구비하고, 상기 회절 패턴에 의해 제1 형상의 레이저 빔을 회절시켜 제2 형상의 레이저 빔으로 변형시키며, 상기 회절 패턴의 스위칭이 가능한 가변형 회절 광학소자; 및상기 가변형 회절 광학소자의 전방 또는 후방에 위치하여 상기 레이저 빔의 크기를 조절하는 집속 렌즈부를 포함하는 레이저 빔 변형기
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 가변형 회절 광학소자는 서로 다른 회절 패턴을 가지는 복수의 회절 광학판을 포함하며,상기 복수의 회절 광학판 중 어느 하나가 선택되어 상기 레이저 빔의 경로 상에 위치하는 레이저 빔 변형기
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 복수의 회절 광학판 각각은 유리판과, 상기 유리판에 형성된 회절 패턴층을 포함하며,상기 복수의 회절 광학판은 회전식 또는 막대식 슬라이더에 장착되는 레이저 빔 변형기
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 집속 렌즈부는 서로 다른 배율을 가지는 복수의 집속 렌즈를 포함하며,상기 복수의 집속 렌즈 중 어느 하나가 선택되어 상기 레이저 빔의 경로 상에 위치하는 레이저 빔 변형기
|
| 5 |
5
제2항에 있어서,상기 집속 렌즈부는 상기 복수의 회절 광학판 각각에 고정된 복수의 집속 렌즈를 포함하는 레이저 빔 변형기
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 가변형 회절 광학소자는, 복수의 화소를 구비하며 전기적 신호에 의해 화소별 강도(intensity) 및 위상(phase)을 제어하여 다양한 회절 패턴을 선택적으로 구현하는 공간 광 변조기(SLM, Spatial Light Modulator)로 구성되는 레이저 빔 변형기
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 집속 렌즈부는 초점 가변형 렌즈로 구성되는 레이저 빔 변형기
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 절연성 탄성 중합체 액츄에이터를 이용한 전기적 형상 가변 렌즈와, 음향 경도 굴절률 렌즈 중 어느 하나로 구성되는 레이저 빔 변형기
|
| 9 |
9
제6항에 있어서,상기 집속 렌즈부는 서로 다른 배율을 가지는 복수의 집속 렌즈를 포함하며,상기 복수의 집속 렌즈 중 어느 하나가 선택되어 상기 레이저 빔의 경로 상에 위치하는 레이저 빔 변형기
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 제1 형상의 레이저 빔은 가우시안 분포 또는 원형 빔으로 이루어지고,상기 제2 형상의 레이저 빔은 플랫-탑(flat-top) 형태 또는 비원형 빔으로 이루어지는 레이저 빔 변형기
|
| 11 |
11
대상 물체를 향해 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진부;상기 레이저 빔의 크기와 강도를 조절하는 레이저 조절부;상기 대상 물체의 가공 위치를 확인하기 위한 비젼 시스템부;상기 대상 물체를 지지 및 이동시키는 스테이지부;제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 레이저 빔 변형기를 포함하는 레이저 미세 가공장비
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 레이저 발진부는 피코초 또는 펨토초의 펄스 지속 시간을 가지는 극초단 펄스 레이저를 발진하는 레이저 미세 가공장비
|
| 13 |
13
제11항에 있어서,상기 레이저 조절부와 상기 레이저 빔 변형기는 단일 케이스에 내장되어 레이저 변형 모듈을 구성하며,상기 레이저 변형 모듈은 탈착 가능한 방식으로 상기 레이저 미세 가공장비에 결합되는 레이저 미세 가공장비
|
