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유연기판을 공급하는 언코일러;상기 언코일러에서 공급되는 상기 유연기판을 흄(fume) 상태 또는 용액 상태의 금속 전구체 분해 활성화 촉매에 접촉시켜 화학적 습식공정으로 상기 유연기판의 표면을 일 부분 또는 패턴 상태로 처리하는 촉매 환경 챔버;상기 촉매 환경 챔버에서 공급되는 상기 유연기판에 잉크로 전도성 금속 필름 전극을 형성하는 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버; 및상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버를 경유하여 상기 전도성 금속 필름 전극을 형성한 상기 유연기판을 되감는 리코일러를 포함하며,상기 잉크의 조성물은 금속 전구체를 포함하고,상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버는,상기 잉크의 조성물에 상기 유연기판을 함침시켜(impregnation), 상기 촉매 환경 챔버에서 표면 처리된 상태에 따라 상기 유연기판에 상기 전도성 금속 필름 전극을 형성하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제1항에 있어서,상기 언코일러를 수용하여 상기 유연기판에 함유된 수분과 산소를 제거하는 제1건조 챔버를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제1항에 있어서,상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버와 상기 리코일러 사이에 구비되어, 상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버에서 공급되는 상기 전도성 금속 필름 전극 및 상기 유연기판을 세척액으로 세척하는 세척 챔버를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제3항에 있어서,상기 리코일러를 수용하여 상기 전도성 금속 필름 전극 및 상기 유연기판에 잔류하는 세척액을 제거하는 제2건조 챔버를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제4항에 있어서,상기 세척 챔버와 상기 제2건조 챔버 사이에 설치되어 상기 전도성 금속 필름 전극 및 상기 유연기판에 잔류하는 세척액을 열풍 건조하는 열풍 건조 챔버를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제3항에 있어서,상기 촉매 환경 챔버, 상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버, 상기 세척 챔버, 및 열풍 건조 챔버를 수용하여, 불활성 가스 분위기를 형성하는 분위기 제어 챔버를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제6항에 있어서,상기 분위기 제어 챔버는,상기 불활성 가스를 공급하는 공급구에 구비되어 공급을 제어하는 제1솔레노이드 밸브, 및상기 불활성 가스를 배출하는 배출구에 구비되어 배출을 제어하는 제2솔레노이드 밸브를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제6항에 있어서,상기 분위기 제어 챔버의 일측에 연결되어 상기 불활성 가스를 순환시키면서 불활성 가스에 포함된 산소를 제거하는 산소 제거 촉매, 및상기 분위기 제어 챔버의 다른 일측에 연결되어 상기 불활성 가스를 순환시키면서 불활성 가스에 포함된 수분을 제거하는 수분 제거 촉매를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 촉매 환경 챔버는,상기 유연기판을 지지하는 지지롤을 구비하며, 상기 지지롤은 발열 기능을 가지는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제3항에 있어서,상기 촉매 환경 챔버, 상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버 및 상기 세척 챔버는,촉매, 잉크 및 세척액의 수위를 각각 감지하며 내화학성을 가지는 수위센서를 각각 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제12항에 있어서,상기 촉매 환경 챔버, 상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버 및 상기 세척 챔버는,제11, 제12, 제13 솔레노이드 밸브를 각각 개재하여,상기 촉매, 상기 잉크 및 상기 세척액을 각각 공급하는 제1, 제2, 제3 화학용펌프에 각각 연결되는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제1항에 있어서,상기 촉매 환경 챔버, 상기 전도성 금속 필름 전극 형성 챔버 사이에 설치되어, 언코일링되어 상기 촉매 환경 챔버를 경유한 상기 유연기판을 예열하는 프리 히터 챔버를 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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제14항에 있어서,상기 촉매 환경 챔버는,언코일링된 상기 유연기판의 전극 형성 부분에 미량의 촉매을 분사하는 촉매 분사 노즐을 더 포함하는 전도성 금속 필름 전극 제조장치
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