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전자총의 가속 전압을 입력받아 저압의 전압으로 분압하여 출력하는 가속 전압 분압부(11)와, 전자총의 바이어스 전압을 입력받아 저압의 전압으로 분압하여 출력하는 바이어스 전압 분압부(13) 및 전자총의 필라멘트 전압을 입력받아 저압의 전압으로 분압하여 출력하는 필라멘트 전압 분압부(15)로 이루어지는 전압분압부(10); 및상기 가속 전압 분압부(11)로부터 출력되는 전압의 변동을 측정하는 가속 전압 변동 측정부(21)와, 상기 바이어스 전압 분압부(13)로부터 출력되는 전압의 변동을 측정하는 바이어스 전압 변동 측정부(23) 및 상기 필라멘트 전압 분압부(15)로부터 출력되는 전압의 변동을 측정하는 필라멘트 전압 변동 측정부(25)로 이루어지는 전압변동측정부(20)를 포함하는 전자총 전압변동 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 가속 전압 분압부(11), 바이어스 전압 분압부(13), 필라멘트 전압 분압부(15)는 각각 일측에 가속 전압, 바이어스 전압, 필라멘트 전압을 입력받는 제1저항과, 상기 제1저항과 직렬로 연결되고 일측이 접지되는 제2저항으로 이루어지고 제2저항에 걸리는 전압이 출력되는 것을 특징으로 하는 전자총 전압변동 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 제1저항은 상기 제2저항보다 큰 값을 가지는 것을 특징으로 하는 전자총 전압변동 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 가속 전압 변동 측정부(21), 바이어스 전압 변동 측정부(23) 및 필라멘트 전압 변동 측정부(25)는, 입력된 신호를 증폭하는 검출신호 증폭부(212,232,252), 증폭된 신호를 디지털 신호로 변환하여 주는 검출신호 변환부(213,233,253) 및 변환된 디지털 신호를 표시해 주는 표시부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자총 전압변동 측정 시스템
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