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초정밀 가공기가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버;상기 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인;상기 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 습도-온도 감지수단;상기 습도-온도 감지수단으로부터 습도 및 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단;상기 데이터 수집수단에서 수집된 습도 및 온도 데이터를 이용하여 상기 챔버 내부의 습도를 제어하여 상기 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜주는 제어부;상기 제어부의 지령에 따라 상기 챔버 내부의 온도가 상승할 경우 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 가습하는 가습수단; 및상기 제어부의 지령에 따라 상기 챔버 내부의 온도가 하강할 경우 상기 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 제습하는 제습수단;을 포함하고,상기 제어부는 상기 데이터 수집수단의 데이터와 상기 설정된 온도를 비교한 후, 압력-온도-습도 변화의 연관 관계에 통해 기설정된 로직을 통해 상기 가습수단 또는 제습수단을 가동시키는 것을 특징으로 하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 공기유동라인에 구비되어 상기 챔버 내부로 공기를 공급 순환시키는 송풍기;상기 챔버 내부의 온도가 하강할 경우, 상기 제습수단의 가동과 병행하여 상기 챔버 내부로 공급되는 공기를 가열하는 가열수단; 및상기 챔버 내부의 온도가 상승할 경우, 상기 가습수단의 가동과 병행하여 상기 챔버 내부로 공급되는 공기를 냉각하는 냉각수단;을 더 포함하는 습도 센서를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치
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청구항 2에 있어서,외부로부터 인가된 전원을 직류-교류로 전환하여 상기 송풍기의 출력을 조절함으로써, 상기 챔버 내부로의 공기 공급을 조절하는 인버터를 더 포함하는 습도 센서를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치
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청구항 1에 있어서,상기 습도-온도 감지수단은,상기 챔버 내부의 습도를 감지하는 습도 센서와, 상기 챔버 내부의 온도를 감지하는 온도 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치
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청구항 1 내지 4 중 어느 한 항의 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서, 상기 챔버 내부의 압력이 일정할 때, 상기 챔버 내부온도와 습도 간의 관계를 이용하여, 상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 가습시켜 상기 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 하강시키며,상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단을 가동하여 상기 챔버 내부를 제습시켜 상기 챔버 내부온도를 설정된 온도까지 상승시키는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법
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청구항 5에 있어서,상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 상승할 경우, 상기 가습수단의 가동과 함께 추가적으로 상기 챔버 내부로 가열 공기를 공급 순환시켜 상기 챔버 내부온도를 신속하게 조절하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법
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청구항 5에 있어서,상기 챔버 내부온도가 설정된 온도보다 하강할 경우, 상기 제습수단의 가동과 함께 추가적으로 상기 챔버 내부로 냉각 공기를 공급 순환시켜 상기 챔버 내부온도를 신속하게 조절하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법
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