| 1 |
1
제1 부재와, 상기 제1 부재 위에 적층된 제2 부재를 포함하는 다중 부재의 접합 장치에 있어서,극초단 펄스 레이저 빔을 발진하는 레이저 광원;상기 다중 부재를 지지하며 3축 방향으로 이동이 가능한 스테이지;상기 제1 부재와 상기 제2 부재 각각의 표면 영상을 획득하고, 획득한 영상 정보에 따라 상기 스테이지를 제어하여 상기 제2 부재의 두께를 상기 제2 부재의 굴절률로 나눈 값으로 정의되는 가공 깊이에 상기 레이저 빔의 초기 초점을 위치시키는 머신 비전 이미징 장치; 및시간 흐름에 따라 상기 레이저 빔의 초점 거리를 일정 주기로 변화시키는 초점 가변형 렌즈와, 상기 레이저 빔을 집속시키는 집속 렌즈를 구비한 렌즈 조립체를 포함하며,상기 렌즈 조립체는 상기 다중 부재의 계면 주위에서 상기 레이저 빔의 초점을 일정 주기로 움직여 용접부를 형성하는 접합 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1 부재와 상기 제2 부재 중 적어도 하나는 상기 레이저 빔의 파장 대역에서 선형 흡수가 없는 투명 부재이며, 투명도가 높은 순서대로 상기 렌즈 조립체에 가깝게 위치하는 접합 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 레이저 빔은 피코초 또는 펨토초의 펄스 지속 시간을 가지며, 상기 다중 부재 내에서 다광자 흡수, 터널링 이온화, 및 애벌런치 흡수 중 어느 하나의 비선형 흡수 현상을 일으키는 에너지 강도를 제공하는 접합 장치
|
| 4 |
4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 상기 다중 부재의 두께 방향을 따라 상기 레이저 빔의 초점 거리를 일정 주기로 변화시키며,상기 집속 렌즈는 상기 초점 가변형 렌즈를 통과한 레이저 빔을 상기 다중 부재의 계면 주위로 집속시키는 접합 장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 내부에 매질이 채워진 렌즈 하우징과, 매질에 초음파를 전달하는 압전기와, 압전기에 연결된 주파수 조절부를 포함하는 접합 장치
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 투명 커버와, 투명 커버에 부착된 탄성 멤브레인과, 투명 커버와 탄성 멤브레인 사이에 채워진 광학 유체와, 탄성 멤브레인에 부착된 액츄에이터를 포함하는 접합 장치
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 스테이지는 상기 용접부 형성에 필요한 시간과 레이저 펄스의 중첩률을 만족하는 이동 속도로 수평 방향으로 움직이는 접합 장치
|
| 10 |
10
제1 부재와, 상기 제1 부재 위에 적층된 제2 부재를 포함하는 다중 부재를 스테이지 위에 배치하는 단계;머신 비전 이미징 장치를 이용하여 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 각각의 표면 영상을 획득하고, 획득한 영상 정보에 따라 상기 스테이지를 제어하여 상기 제2 부재의 두께를 상기 제2 부재의 굴절률로 나눈 값으로 정의되는 가공 깊이에 레이저 빔의 초기 초점을 위치시키는 단계;레이저 광원으로부터 극초단 펄스 레이저 빔을 발진하는 단계;초점 가변형 렌즈와 집속 렌즈로 구성된 렌즈 조립체를 이용하여 상기 다중 부재의 계면 주위에서 상기 다중 부재의 두께 방향을 따라 레이저 빔의 초점을 일정 주기로 움직이는 단계; 및상기 다중 부재 내에서 비선형 흡수 현상에 의해 용접부를 형성하는 단계를 포함하는 다중 부재의 접합 방법
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 제1 부재와 상기 제2 부재 중 적어도 하나는 상기 레이저 빔의 파장 대역에서 선형 흡수가 없는 투명 부재이며, 투명도가 높은 순서대로 상기 렌즈 조립체에 가깝게 위치하는 다중 부재의 접합 방법
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 레이저 빔은 피코초 또는 펨토초의 펄스 지속 시간을 가지며, 상기 다중 부재 내에서 다광자 흡수, 터널링 이온화, 및 애벌런치 흡수 중 어느 하나의 비선형 흡수 현상을 일으키는 에너지 강도를 제공하는 다중 부재의 접합 방법
|
| 14 |
14
제10항, 제12항, 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 상기 다중 부재의 두께 방향을 따라 상기 레이저 빔의 초점 거리를 일정 주기로 변화시키며,상기 집속 렌즈는 상기 초점 가변형 렌즈를 통과한 레이저 빔을 상기 다중 부재의 계면 주위로 집속시키는 다중 부재의 접합 방법
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 내부에 매질이 채워진 렌즈 하우징과, 매질에 초음파를 전달하는 압전기와, 압전기에 연결된 주파수 조절부를 포함하며, 초음파의 주파수를 변화시켜 상기 레이저 빔의 초점 거리를 변화시키는 다중 부재의 접합 방법
|
| 16 |
16
제14항에 있어서,상기 초점 가변형 렌즈는 투명 커버와, 투명 커버에 부착된 탄성 멤브레인과, 투명 커버와 탄성 멤브레인 사이에 채워진 광학 유체와, 탄성 멤브레인에 부착된 액츄에이터를 포함하며, 액츄에이터의 작동으로 탄성 멤브레인을 변형시켜 상기 레이저 빔의 초점 거리를 변화시키는 다중 부재의 접합 방법
|
| 17 |
17
제14항에 있어서,상기 용접부를 형성하는 단계에서 상기 스테이지는 상기 용접부 형성에 필요한 시간과 레이저 펄스의 중첩률을 만족하는 이동 속도로 수평 방향으로 움직이는 다중 부재의 접합 방법
|
