맞춤기술찾기

이전대상기술

전자 검출기

  • 기술번호 : KST2015130599
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 시료와 충돌하는 전자빔에 의해 생성되는 역확산 전자(Back Scattered Electron)와 이차 전자를 수집하는 전자 검출기에 관한 것으로서, 전자 검출기 웨이퍼부 외주에 전압 인가부를 설치하고 전압을 인가하여, 시료로부터 발생한 역확산 전자(Back Scattered Electron) 및 이차 전자를 유도하고, 이로써 전자 검출기의 전자 검출 능력 및 주사 전자 현미경의 이미지 해상도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01J 37/244 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01)
출원번호/일자 1020130019017 (2013.02.22)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1321049-0000 (2013.10.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.22)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 임선종 대한민국 대전 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0160731-17
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0203860-30
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2013-0029195-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0358356-77
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0661801-77
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0661800-21
8 등록결정서
Decision to grant
2013.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0516262-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자총에서 방출된 전자빔을 시료에 조사하여 상기 시료로부터 발생되는 전자를 검출하는 전자 검출기에 있어서,본체부;상기 본체부에 위치하며, 상기 전자를 수집하는 웨이퍼부;상기 웨이퍼부 외주를 따라 형성되며, 상기 전자와 전위차를 형성하여 상기 전자를 유도하는 전압 인가부; 및상기 웨이퍼부와 상기 전압 인가부 사이에 위치하며, 상기 웨이퍼부 외주를 따라 형성되는 절연부를 포함하는 전자 검출기
2 2
제 1항에 있어서,상기 본체부는 중앙에 상기 전자빔이 통과하는 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 검출기
3 3
제 2항에 있어서,상기 웨이퍼부는 상기 개구부 주위에 복수로 설치되는 것을 특징으로 하는 전자 검출기
4 4
제 1항에 있어서,상기 전압 인가부에 연결되며, 상기 전압 인가부에 인가되는 전압을 조절하는 전압 조절부를 더 포함하는 전자 검출기
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서,상기 절연부는 상기 전압 인가부의 두께보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 검출기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 선문대학교 산학협력단 지경부-국가연구개발사업(II) EUV 마스크 actinic 검사 장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사 장비 기술 개발 (2/5)