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반응기;상기 반응기의 상부에 구비되어, 원료분말을 용융시키는 플라즈마 토치;원료분말을 플라즈마 화염의 특정 온도구역에 공급하기 위해 상기 반응기와 연통되는 위치 조절가능한 노즐;냉각 가스 공급부; 및분말 저장조를 포함하되, 상기 특정 온도구역은 원료분말의 융점-비점 사이의 온도범위인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조장치
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제1항에 있어서,상기 원료분말은 금속, 금속의 합금, 산화금속, 세라믹 및 금속/세라믹 복합물질로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조장치
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제1항에 있어서,상기 원료분말은 알루미늄, 티타늄, 지르코니아(ZrO2), 철, 산화알루미늄(Al2O3), 스테인리스강 및 이들의 합금으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조장치
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제1항에 있어서,상기 노즐은 반응기의 상부, 하부 또는 측면부에 구비되되,플라즈마 화염의 특정 온도구역에 노즐 배출구가 위치하도록 조절가능한 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조장치
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제1항에 있어서,상기 냉각 가스는 질소가스, 아르곤가스 또는 헬륨가스인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조장치
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제1항의 제조장치를 이용한 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조방법에 있어서, 원료분말의 융점-비점 사이의 온도가 형성되는 플라즈마 온도구역에 원료분말을 주입하는 것을 특징으로 하는 500 nm-10 ㎛ 크기의 구형 분말의 제조방법
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