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레이저빔으로 마이크로 어레이 패턴을 형성하는 방법으로서, 레이저빔의 파장보다 작은 직경의 개구부가 형성된 선단을 구비하는 프로브의 상기 개구부를 통해 레이저빔을 자기현상(self-developing)이 가능한 시료로 조사하는 단계를 포함하는 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제1항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 레이저빔의 조사를 중지하는 단계와, 상기 시료 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시킨 후 레이저빔을 상기 시료에 다시 조사하는 단계를 더 포함하는 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제2항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 레이저빔은 연속파(CW) 레이저빔 또는 고주파 펄스 레이저빔인 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제1항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 레이저빔은 펄스 레이저빔이며, 펄스 사이의 공백기에 상기 시료 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시키는 단계를 더 포함하는 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제4항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 펄스 레이저빔의 주기는 20Hz인 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 청구항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 프로브의 선단과 상기 시료가 근접한 상태를 유지시키는 단계를 더 포함하는 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제6항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 프로브의 선단과 상기 시료 사이의 거리에 따라 변하는 상기 프로브의 진동상태를 측정하여 상기 프로브의 선단과 시료의 근접 상태를 유지시키는 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제7항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 프로브의 진동상태를 측정하기 위하여 튜닝포크를 사용하는 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 청구항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 시료는 폴리이미드 박막인 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 청구항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 레이저빔은 자외선(UV) 레이저인 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제10항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 자외선(UV) 레이저의 파장은 266nm인 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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제10항의 마이크로 어레이 패턴 형성방법에 있어서, 상기 자외선(UV) 레이저의 파장은 266nm인 마이크로 어레이 패턴 형성방법
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