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전자 현미경(10)에 배치되는 진공 챔버(100)로서,상기 진공 챔버(100)는 시편(S)상에 배치되는 챔버 본체(110)와,상기 챔버 본체(110)에 진입하여 상기 챔버 본체(110)의 내부 공간을 상하 부분 분리하는 차동 진공 유닛(120)을 포함하되,상기 챔버 본체(110)의 두께면 저면에 각각 요홈된 다수 개의 수용부(110b)와,상기 수용부(110b)에 삽입되는 한편 시편(S)과 접촉하는 다수 개의 가동편(115)과,상기 수용부(110b)와 가동편(115) 사이에 설치되어 상기 가동편(115)을 시편(S)상에 밀착시키는 탄성부(117)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버
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제1항에 있어서,상기 차동 진공 유닛(120)은 상기 챔버 본체(110) 일 측면에 형성되는 삽입부(111)를 통해 상기 챔버 본체(110) 내부에 진입한 후 상기 챔버 본체(110)의 반대측 내측면에 밀착되거나 또는 상기 반대측 내측면으로부터 후퇴하는 차동 진공 바아(121)와,상기 챔버 본체(110) 외측에 설치되어 상기 차동 진공 바아(121)를 전진 또는 후퇴하는 구동부(122)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버
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제2항에 있어서,상기 삽입부(111) 또는 상기 차동 진공 바아(121)가 밀착되는 반대측 내측면에 설치되는 실링 부재(SG)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버
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제1항에 있어서,상기 차동 진공 유닛(120)은 상기 챔버 본체(110) 일 측면 및 반대 측면에 각각 형성되는 삽입부(111,114)를 통해 상기 챔버 본체(110) 내부에 진입한 후 상호 밀착되거나 분리되는 한 쌍의 차동 진공 바아(125,126)과,상기 챔버 본체(110) 외측에 설치되어 상기 한 쌍의 차동 진공 바아(125,126)를 전진 또는 후퇴하는 구동부(127,128)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버
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전자 현미경의 메인 바디(12) 일 측에 설치되어 시편(S)상에 배치되는 것으로서 제1항에 기재된 이동식 진공 챔버(100)와,상기 이동식 진공 챔버(100) 일 측에 설치되어 챔버 본체(110)의 내부 공기를 석션하거나 충진하는 공기 제어부(200)를 포함하되,상기 공기 제어부(200)는 상기 챔버 본체(110) 일 측에 형성되는 공기 출입부(112)에 연결되는 유동 배관(B)과 상기 유동 배관(B)에 설치되는 펌프(P)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자 현미경
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제6항에 있어서,상기 공기 출입부(112)는 상기 챔버 본체(110) 중 상기 차동 진공 바아(121) 상하측에 각각 형성되는 상부 공기 출입부(112a)와 하부 공기 출입부(112b)를 포함하고,상기 공기 제어부(200)는 상기 상부 공기 출입부(112a)에 설치되는 챔버 진공부(210)와 상기 하부 공기 출입부(112b)에 설치되는 배기부(220)를 포함하며,상기 챔버 진공부(210)는 상기 상부 공기 출입부(112a)에 설치되는 제1배관(212)과, 상기 제1배관(212)에 설치되는 제1펌프(P1)를 포함하며,상기 배기부(220)는 상기 하부 공기 출입부(112b)에 설치되는 제2배관(222)과, 상기 제2배관(222)에 설치되는 제2펌프(P2)를 포함하며,상기 제1배관(212)과 제2배관(222)사이를 연결하는 제3배관(230)과, 상기 제3배관(230) 및 제2배관(222)에 각각 설치되는 제3밸브(213) 및 제2밸브(223)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자 현미경
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제7항에 있어서,상기 챔버 본체(110) 내부의 차동 진공 바아(121) 상하측에 각각 배치되는 제1압력 센서(SE1) 및 제2압력 센서(SE2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자 현미경
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제6항에 있어서,상기 메인 바디(12)를 이송하는 메인 바디 이송 유닛(310) 또는 상기 시편(S)을 이송하는 시편 이송 유닛(320)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자 현미경
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제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 전자 현미경을 이용하여 시편을 검사하는 방법(S100)으로서,상기 이동식 진공 챔버(100)의 차동 진공 바아(121)가 챔버 본체(110) 내부로 진입하여 상기 차동 진공 바아(121)의 상하부 공간을 분리하는 제1단계(S110)와,상기 차동 진공 바아(121)의 하부 공간에 공기를 유입하는 제2단계(S120)와,상기 전자 현미경을 검사하고자 하는 시편(S)상으로 이동하는 제3단계(S130)와,상기 차동 진공 바아(121)를 후퇴하여 상기 차동 진공 바아(121)의 상하부 공간이 연통되도록 하는 제4단계(S140)와,상기 챔버 본체(110) 내부를 진공으로 형성하는 제5단계(S150)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자현미경을 이용하여 시편을 검사하는 방법
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제10항에 있어서,상기 제2단계(S120)는 상기 챔버 본체(110)의 하부 공기 출입부(112b)에 설치되는 배기부(220)를 통해 공기를 진공 챔버 본체(110) 중 상기 차동 진공 바아(121)의 하부 공간에 유입하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자현미경을 이용하여 시편을 검사하는 방법
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제10항에 있어서,상기 제3단계(S130)는 상기 차동 진공 바아(121)의 하부 공간 압력이 대기압에 도달하였는지 체크하여 상기 하부 공간 압력이 대기압에 도달한 경우 다음 단계를 진행하고 도달하지 않은 경우 다시 상기 압력을 체크하는 제31단계(S131)와,상기 메인 바디 이송 유닛(310)에 의해 전자 현미경(10)을 상승시키거나 시편 이송 유닛(320)을 통해 시편(S)을 하강시켜 상기 이동식 진공 챔버(100)와 시편(S)을 상호 분리하는 제32단계(S132)와,상기 전자 현미경(10)이나 시편(S)을 수평 방향 또는 전후 방향 이동하여 상기 전자 현미경을 검사하고자 하는 시편(S)상에 위치 하는 제33단계(S133)와,상기 전자 현미경(10)을 하강시키거나 시편(S)을 상승시켜 상기 챔버 본체(110)가 시편(S)상에 접촉하도록 하는 제34단계(S134)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자현미경을 이용하여 시편을 검사하는 방법
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제10항에 있어서,상기 제5단계(S150)는 상기 챔버 진공부(210)와 배기부(220)를 통해 공기를 석션하여 챔버 본체(110) 내부를 진공으로 형성하는 것을 특징으로 하는 이동식 진공 챔버를 구비한 전자현미경을 이용하여 시편을 검사하는 방법
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