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초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치

  • 기술번호 : KST2015130672
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치는 버블이 용해된 세정액인 기능수가 생성되는 기능수모듈; 및 상기 기능수모듈에서 이송된 기능수에 초음파를 인가하여 외부로 배출하는 초음파모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020130121838 (2013.10.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1544504-0000 (2015.08.07)
공개번호/일자 10-2015-0042972 (2015.04.22) 문서열기
공고번호/일자 (20150817) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.14)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전 유성구
2 임의수 대한민국 대전 유성구
3 김현세 대한민국 서울 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0924490-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0035876-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0601033-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0943404-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0943391-19
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0709481-44
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-1073551-34
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002865-62
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004924-15
11 등록결정서
Decision to grant
2015.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0332619-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
버블이 용해된 세정액인 기능수가 생성되는 기능수모듈; 및상기 기능수모듈에서 이송된 기능수에 초음파를 인가하여 외부로 배출하는 초음파모듈;을 포함하며,상기 기능수모듈은 일면에 세정액이 유입되는 세정액유입부와 가스가 유입되는 가스유입부가 각각 형성되며, 상기 가스유입부와 연통되며 상기 가스를 세정액에 분사하여 버블로 변환되게 하는 제1다공성나노구조체가 설치되며, 타면에 버블이 용해된 세정액인 기능수가 유출되는 유출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 초음파모듈은내부에 상기 유출부에서 이송된 기능수가 유통하는 유통로와 상기 유통로에서 이송된 기능수가 채워지는 채움부가 각각 형성되며,상기 유통로의 외측에 구비되어 상기 채움부에 채워진 기능수에 초음파를 인가하는 압전소자가 설치되며,일면에 상기 기능수가 외부로 배출되는 배출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치는상기 기능수모듈이 상기 초음파모듈의 상측에 구비되는 것을 특징으로 하는 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
5 5
제3항에 있어서, 상기 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치는상기 기능수모듈이 상기 초음파모듈의 옆측에 구비되는 것을 특징으로 하는 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
6 6
제3항에 있어서, 상기 압전소자는링형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
7 7
제3항에 있어서, 상기 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치는상기 유통로 상에 구비되어 상기 유통로에서 유통되는 기능수의 유압을 감소시키고 버블을 더 미세하게 하는 제2다공성나노구조체; 및상기 유출부 상에 구비되어 초음파가 인가된 기능수를 외부로 분사하는 제3다공성나노구조체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.