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진공포트를 포함하는 메인 챔버와, 상기 메인 챔버와 연통되는 적어도 하나 이상의 주변 챔버를 갖는 바디;
상기 바디와 결합된 채 상기 메인 챔버 및 주변 챔버와 연통되는 다수의 포러스를 갖는 흡착판;
연결관에 의해 상기 진공포트와 연통되게 연결되는 진공발생장치로 구성된 진공 척
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제1항에 있어서,
상기 바디는, 진공포트를 포함하는 바닥부와, 상기 바닥부의 가장자리를 따라 형성되는 테두리부와, 상기 석션포트와 테두리부 사이에 형성되는 메인 챔버 및 주변 챔버를 포함하는 진공 척
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제2항에 있어서,
상기 메인 챔버는 상기 진공포트의 주변을 둘러싸는 격벽의 내부에 형성되며, 상기 주변 챔버는 상기 격벽의 외부에 형성되며, 상기 격벽에는 연통홀이 형성되어 이를 통해 메인 챔버와 주변 챔버가 연통되도록 한 진공 척
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제3항에 있어서,
상기 격벽과 테두리부 사이에, 연통홀을 갖는 추가 격벽을 적어도 하나 이상 설치하여 주변 챔버가 구획되도록 한 진공 척
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제4항에 있어서,
상기 격벽과 추가 격벽은 진공포트를 중심으로 하는 동심원으로 된 진공 척
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제5항에 있어서,
상기 격벽과 추가 격벽의 각 연통홀은, 반경방향으로 1 ~ 359°범위의 위상차를 갖는 진공 척
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제5항에 있어서,
상기 격벽과 추가 격벽의 각 연통홀은, 반경방향으로 180°의 위상차를 갖는 진공 척
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제1항에 있어서,
상기 흡착판의 흡착면 상에 설치되는 다공형의 마찰판을 포함하는 진공 척
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제8항에 있어서,
상기 마찰판은 러버 또는 실리콘으로 된 진공 척
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제1항에 있어서,
상기 진공포트 또는 연결관 중 어느 한 곳에 설치되어, 진공발생장치의 가동중에는 개방되고 진공발생장치가 정지되었을 때는 차폐되는 체크밸브를 포함하는 진공 척
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11
진공포트를 포함하는 바닥부와, 상기 바닥부의 가장자리를 따라 형성되는 테두리부와, 상기 진공포트의 주변을 따라 형성되는 소용돌이형의 격벽을 형성하여 격벽의 사이사이에 진공압이 통과하는 챔버를 갖는 바디;
상기 바디와 결합된 채 상기 챔버와 연통되는 다수의 포러스를 갖는 흡착판;
연결관에 의해 상기 진공포트와 연통되게 연결되는 진공발생장치로 구성된 진공 척
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제1항 또는 제11항에 있어서,
상기 흡착판은 구리 또는 세라믹 재질로 된 진공 척
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제11항에 있어서,
상기 흡착판의 흡착면 상에 설치되는 다공형의 마찰판을 포함하는 진공 척
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14
제13항에 있어서,
상기 마찰판은 러버 또는 실리콘으로 된 진공 척
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제11항에 있어서,
상기 진공포트 또는 연결관 중 어느 한 곳에 설치되어, 진공발생장치의 가동중에는 개방되고 진공발생장치가 정지되었을 때는 차폐되는 체크밸브를 포함하는 진공 척
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