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난분해성 가스의 플라즈마 반응방법

  • 기술번호 : KST2015130728
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반응로의 내부로 난분해성 가스와 함께 탄화수소계의 연료와 산화제를 부분 산화조건으로 유입시켜 상기 연료의 산화반응에서 발생되는 열에 의해 플라즈마 영역이 보다 고온으로 유지되도록 하여, 전자의 평균 충돌 행로를 증가시키며 상기 산화반응에서 반응성 높은 라디칼 및 이온 들이 생성됨에 따라 난분해성 기체를 효과적으로 분해시킬 수 있는 효과가 있으며, 이에 더하여, 반응로의 내부에 형성된 확장구간과 이의 시점에 형성된 첨단부에 의해 플라즈마 반응시 생성되는 플라즈마 반응대가 체류되도록 하여, 연속적인 플라즈마 반응을 구현할 수 있는 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법에 관한 것이다. 난분해성 가스, 플라즈마, 체류, 산화반응, 연속, 전자
Int. CL B01D 53/32 (2006.01)
CPC B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01)
출원번호/일자 1020060021818 (2006.03.08)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0619237-0000 (2006.08.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20060905) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.03.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대훈 대한민국 대전 서구
2 김관태 대한민국 대전광역시 서구
3 송영훈 대한민국 대전광역시 유성구
4 차민석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이재옥 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0165023-29
2 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination		 2006.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2006-0184773-33
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.04.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0028742-67
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0325306-01
6 의견서
Written Opinion		 2006.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2006-0562177-08
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0562176-52
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0487224-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
난분해성 가스를 플라즈마 반응시켜 분해하기 위한 방법에 있어서,반응로(10)와 연통되는 원료유입관(20)을 통해 상기 반응로(10)의 내부로 난분해성 가스와 함께 탄화수소계의 연료와 산화제가 부분 산화조건으로 유입되도록 하여 상기 난분해성 가스가 상기 반응로(10)에 내설된 전극(30)과 상기 반응로(10) 내벽 간에 발생되는 방전전압에 의해 플라즈마 반응될 시, 상기 연료의 산화반응으로 발생되는 열에 의해 플라즈마 영역이 보다 고온 상태가 되어 밀도가 낮아질 수 있도록 하고, 플라즈마 반응시 생성되는 플라즈마 반응대가 상기 반응로(10) 내부의 전극(30)보다 상측에 위치한 구간에 폭이 상기 반응로(10)의 길이방향에 직각으로 단을 져 확장 형성되는 확장구간(15)에서 체류되도록 하여 연속되는 플라즈마 반응이 일어나도록 하되,상기 반응로(10)의 벽면에는 상기 원료유입관(20)과 상기 반응로(10) 내부와의 연통을 위한 다수의 유입홀(21)이 형성되며 상기 유입홀(21)은 상기 반응로(10) 내벽의 법선방향과 일정각도를 이루도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 반응로(10) 내부로 연료와 산화제를 선 유입시킨 후, 난분해성 가스를 유입시킨 것을 특징으로 하는 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 반응로(10) 내부로 연료, 산화제, 및 난분해성 가스를 동시적으로 유입시킨 것을 특징으로 하는 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 연료는 CH4 인 것을 특징으로 하는 난 분해성 가스의 플라즈마 반응방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 산화제는 O2 인 것을 특징으로 하는 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 난분해성 가스는 CF4, C2F6, SF6, NF 중 어느 하나, 또는 이들의 혼합체 인 것을 특징으로 하는 난분해성 가스의 플라즈마 반응방법
7 7
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8 8
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101282782 CN 중국 FAMILY
2 CN101966423 CN 중국 FAMILY
3 CN101972621 CN 중국 FAMILY
4 EP01933975 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
5 EP01933975 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
6 EP02233196 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
7 EP02233203 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
8 EP02343114 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
9 EP02343114 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
10 JP04834736 JP 일본 FAMILY
11 JP05339220 JP 일본 FAMILY
12 JP21511247 JP 일본 FAMILY
13 JP24035260 JP 일본 FAMILY
14 KR100561199 KR 대한민국 FAMILY
15 KR100586880 KR 대한민국 FAMILY
16 KR100679868 KR 대한민국 FAMILY
17 US08524162 US 미국 FAMILY
18 US08568662 US 미국 FAMILY
19 US20100008831 US 미국 FAMILY
20 US20130039816 US 미국 FAMILY
21 WO2007043783 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101282782 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN101282782 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 CN101966423 CN 중국 DOCDBFAMILY
4 CN101966423 CN 중국 DOCDBFAMILY
5 CN101972621 CN 중국 DOCDBFAMILY
6 CN101972621 CN 중국 DOCDBFAMILY
7 JP2009511247 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 JP2012035260 JP 일본 DOCDBFAMILY
9 JP4834736 JP 일본 DOCDBFAMILY
10 JP5339220 JP 일본 DOCDBFAMILY
11 US2010008831 US 미국 DOCDBFAMILY
12 US8568662 US 미국 DOCDBFAMILY
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