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전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)과, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 내부 일 공간을 차단하는 차단 유닛(140)을 포함하되,상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하고,상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편 또는 시편이 안착되는 테이블과 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되며,상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제1항에 있어서,상기 차단 유닛(140)은 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부에 출입하는 차단판(141)과, 상기 차단판(141)을 전후진하는 차단판 구동부(142)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제2항에 있어서,상기 차단판 구동부(142)는 상기 차단판(141)에 연결되는 실린더 로드(142b)와, 상기 실린더 로드(142b)를 구동시키는 실린더(142a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제2항에 있어서,상기 차단판 구동부(142)는 상기 진공 챔버 유닛(100) 외측에 설치되는 볼 스크류(142e)와, 상기 볼 스크류(142e)를 회전시키는 액츄에이터(142f)와, 상기 볼 스크류(142e)를 지지하는 지지대(142c)와,상기 볼 스크류(142e)에 결합되어 전후진 하는 것으로서 상기 차단판(141)이 장착되는 무빙 블록(142d)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제2항에 있어서,상기 진공 챔버 유닛(100)의 일 측은 관통부(114)가 형성되어 상기 차단판(141)이 출입하고 타 측 내부는 안착홈(115)이 되어 상기 차단판(141)이 삽입되며,상기 안착홈(115)에는 거리 측정 센서(S1)가 설치되어 상기 차단판(141)의 진입 거리를 인식하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제5항에 있어서,상기 거리 측정 센서(S1)와 상기 차단판(141)을 구동하는 차단판 구동부(142)에 연결되는 제어부(CON)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제1항에 있어서,상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제1항에 있어서,상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110)의 일 측에 설치되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하는 착탈 부재(300)를 더 포함하되,상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와,상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제9항에 있어서,상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고,상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되어,상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제9항에 있어서,상기 걸림구(310)는 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고,상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(312)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경
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제1항 내지 제6항 및 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 전자 현미경을 이용한 검사 방법으로서,차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110)와,상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간의 진공 상태를 해제하는 단계(S120)와,전자 현미경을 이동하는 단계(S130)와,상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간을 진공으로하는 단계(S140)와,상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)와,시편을 조사하는 단계(S160)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법
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제12항에 있어서,상기 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110) 또는 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)는 제어부(CON)에 의해 차단판 구동부(142)를 구동하여 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100)에 전후진 시키되,상기 진공 챔버 유닛(100)의 안착홈(115)에 설치되는 거리 측정 센서(S1)에 의해 상기 차단판(141)의 진입 또는 후퇴 거리를 측정하여 기 설정된 진입 거리만큼 상기 차단판(141)이 진입 또는 후퇴되도록 제어부(CON)가 차단판 구동부(142)를 제어하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법
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제12항에 있어서,상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간을 진공으로하는 단계(S140) 또는 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)에서,상기 진공 챔버 유닛(100) 내부로서 상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간에 설치되는 압력 센서(S2)와 상기 압력 센서(S2)에 연결되는 제어부(CON)에 의해 기 설정된 진공 압력으로 되었는지를 확인하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법
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