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표면이 서로 맞닿도록 상호 적층된 복수의 부재를 포함하는 다중 부재를 스테이지 위에 배치하는 단계;레이저 광원으로부터 극초단 펄스 레이저 빔을 발진하는 단계;상기 레이저 빔을 복수의 빔 성분으로 분리시키는 단계;상기 복수의 빔 성분을 상기 다중 부재의 계면 주위에서 상기 다중 부재의 두께 방향을 따라 일렬로 집속시켜 복수의 레이저 초점을 형성하는 단계; 및상기 다중 부재 내에서 비선형 흡수 현상에 의해 용접부를 형성하는 단계를 포함하는 다중 부재의 접합 방법
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제1항에 있어서,상기 복수의 부재는 상기 레이저 빔의 파장 대역에서 선형 흡수가 없는 투명 부재를 포함하며, 투명도가 높은 순서대로 상기 레이저 광원에 가깝게 정렬되는 다중 부재의 접합 방법
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제2항에 있어서,상기 레이저 빔은 피코초 또는 펨토초의 펄스 지속 시간을 가지며, 상기 다중 부재 내에서 다광자 흡수(multiphoton absorption), 터널링 이온화(Tunneling ionization), 및 애벌런치(avalanche) 흡수 중 어느 하나의 비선형 흡수 현상을 일으키는 레이저 강도를 제공하는 다중 부재의 접합 방법
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 광원과 상기 다중 부재 사이에 프레넬 영역 소자와 집광기가 위치하며,상기 프레넬 영역 소자는 상기 복수의 빔 성분을 공간적으로 분리시키는 다중 부재의 접합 방법
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제4항에 있어서,상기 복수의 빔 성분은 상기 프레넬 영역 소자에 의해 회절된 제1 빔 성분과, 회절되지 않은 제2 빔 성분을 포함하며,상기 제1 빔 성분은 발산되는 성분과 수렴되는 성분을 포함하는 다중 부재의 접합 방법
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제5항에 있어서,상기 제2 빔 성분의 초점을 기준으로 상기 다중 부재의 두께 방향을 따라 상기 복수의 제1 빔 성분의 초점이 상하 대칭으로 위치하는 다중 부재의 접합 방법
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제5항에 있어서,상기 프레넬 영역 소자의 회절 효율을 조절하여 상기 복수의 빔 성분 각각의 에너지 강도를 제어하는 다중 부재의 접합 방법
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제4항에 있어서,상기 프레넬 영역 소자는 상기 레이저 빔의 진행 방향을 따라 이동하여 상기 복수의 레이저 초점간 거리를 변화시키는 다중 부재의 접합 방법
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제4항에 있어서,상기 프레넬 영역 소자는 1 또는 2의 회절 차수(m)를 가지며, 상기 레이저 빔을 개로 분리시키는 다중 부재의 접합 방법
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제9항에 있어서,상기 프레넬 영역 소자는 상기 레이저 빔의 진행 방향을 따라 복수개로 구비되며,상기 복수의 프레넬 영역 소자는 상기 레이저 빔을 개(여기서 n은 프레넬 영역 소자의 개수)로 분리시키는 다중 부재의 접합 방법
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제7항에 있어서,상기 복수의 제1 빔 성분 각각의 에너지 강도는 상기 제2 빔 성분의 에너지 강도와 동일하며,상기 용접부는 상기 다중 부재의 두께 방향을 따라 긴 타원형으로 형성되는 다중 부재의 접합 방법
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제7항에 있어서,상기 복수의 제1 빔 성분 각각의 에너지 강도는 상기 제2 빔 성분의 에너지 강도보다 낮으며,상기 용접부는 가운데 부분이 볼록한 타원형으로 형성되는 다중 부재의 접합 방법
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제7항에 있어서,상기 복수의 제1 빔 성분 각각의 에너지 강도는 상기 제2 빔 성분의 에너지 강도보다 높으며,상기 용접부는 양 끝 부분이 볼록한 아령 모양으로 형성되는 다중 부재의 접합 방법
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제4항에 있어서,상기 스테이지는 높이 조절이 가능한 3차원 정밀 스테이지로 구성되며, 정해진 시간마다 수평 방향으로 움직이는 다중 부재의 접합 방법
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