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일측이 개방된 중공부(211)가 형성되며 상기 중공부(211)와 연통되는 연결 포트(212)가 형성되는 몸체(210), 상기 몸체(210)의 개방된 일측에 나노박막(120)이 형성된 기판(100)이 밀착되도록 고정하는 고정 플레이트(220), 및 상기 몸체(210)와 고정 플레이트(220) 사이에 개재되는 실링부재(230),를 포함하는 메인 챔버(200);상기 메인 챔버(200)의 연결 포트(212)에 연결되는 진공 발생기(300);상기 메인 챔버(200)와 진공 발생기(300) 사이에 설치되는 솔레노이드 밸브(400);상기 메인 챔버(200)의 연결 포트(212)에 연결되는 압력 센서(500); 및상기 솔레노이드 밸브(400) 및 압력 센서(500)와 연결되어, 상기 메인 챔버(200) 중공부(211)의 진공 압력을 조절하는 컨트롤러(600);를 포함하여 이루어지는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(200)와 솔레노이드 밸브(400) 사이에 설치되어, 상기 솔레노이드 밸브(400)의 개폐에 따른 압력 변화의 충격을 흡수할 수 있는 버퍼 챔버(700)를 더 포함하여 이루어지는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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제2항에 있어서,상기 버퍼 챔버(700)는 일측에 외부 공기가 유입될 수 있는 리크 밸브(710)가 연결되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(200)의 연결 포트(212)에 연결되는 보조 압력 센서(800)를 더 포함하여 이루어지는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(200)는 기판(100)이 밀착되는 면에 실링부재가 삽입되는 실링부재 안치홈(213)이 형성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(200)의 고정 플레이트(220)는 내측이 중공되게 형성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(200)의 일측에 구비되어 진공도에 따른 나노박막(120)의 변형 또는 변위를 측정할 수 있는 측정수단(900)인 원자현미경(Atomic force microscope) 또는 간섭계(Interferometer)를 포함하여 이루어지는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
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일면에 나노박막(120)이 형성된 기판(100)을 고정하는 단계(S10);상기 기판(100)의 관통공(110) 내측을 미리 설정된 압력으로 진공을 형성하여 상기 나노박막(120)이 관통공(110)의 내측으로 당겨지도록 하는 단계(S20); 및측정수단(900)인 원자현미경(Atomic force microscope) 또는 간섭계(Interferometer)를 이용하여 상기 나노박막(120)이 관통공(110)의 내측으로 들어간 깊이(h)를 측정하는 단계(S30);를 포함하여 이루어지는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 방법
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제8항에 있어서,상기 나노박막(120)은 전사되어 기판(100)에 밀착 형성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 방법
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