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미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법

  • 기술번호 : KST2015130772
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법은 미세구조물 사이의 공간인 미세채널에 자외선경화유체를 충전하는 충전단계; 상기 미세채널에 충전된 상기 자외선경화유체에 자외선에 반응하지 않는 자외선비경화유체를 유동시킴으로써, 상기 미세채널의 중심부에 나노채널을 생성시키는 나노채널 생성단계; 상기 미세채널에 자외선을 조사하여 상기 자외선경화유체를 경화시키는 자외선 경화단계; 상기 미세채널에서 자외선비경화유체를 제거하는 제거단계;를 포함하며, 상기 나노채널의 크기를 제어하기 위해, 상기 자외선경화유체 또는 상기 자외선비경화유체의 점도를 조절하는 것을 특징으로 한다.따라서, 본 발명에 의하면, 미세채널내 유체유동을 이용하여 용이하게 나노채널을 가공할 수 있는 미세채널내 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법이 제공된다.
Int. CL B29C 67/20 (2006.01) B81B 7/04 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130009935 (2013.01.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1421050-0000 (2014.07.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140722) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤재성 대한민국 대전광역시 유성구
2 최두선 대한민국 대전 유성구
3 유영은 대한민국 서울 강남구
4 장성환 대한민국 대전 유성구
5 김정환 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0086262-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0087078-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0042557-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0265028-46
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0265074-36
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0347314-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세구조물 사이의 공간인 미세채널에 자외선경화유체를 충전하는 충전단계;상기 미세채널에 충전된 상기 자외선경화유체에 자외선에 반응하지 않는 자외선비경화유체를 유동시킴으로써, 상기 미세채널의 중심부에 나노채널을 생성시키는 나노채널 생성단계;상기 미세채널에 자외선을 조사하여 상기 자외선경화유체를 경화시키는 자외선 경화단계;상기 미세채널에서 자외선비경화유체를 제거하는 제거단계;를 포함하며,상기 나노채널의 크기를 제어하기 위해, 상기 자외선경화유체 또는 상기 자외선비경화유체의 점도를 조절하는 것을 특징으로 하는 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법
2 2
제1항에 있어서,상기 나노채널의 형상은 상기 미세구조물의 형상에 의하여 제어되는 것을 특징으로 하는 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법
3 3
제2항에 있어서,상기 미세구조물의 형상은 다각형 또는 원형인 것을 특징으로 하는 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법
4 4
제1항에 있어서,상기 나노채널의 크기를 작게 하기 위해, 상기 자외선경화유체의 점도를 상기 자외선비경화유체의 점도보다 더 크게 하는 것을 특징으로 하는 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노채널 생성단계는 상기 미세채널 외부에 상기 자외선비경화유체를 충전한 후, 상기 미세채널 외부의 한쪽 측면에서 가압하거나 또는 반대 측면에서 흡입함으로써, 상기 자외선비경화유체를 유동시키는 것을 특징으로 하는 미세채널 내의 유체유동을 이용한 나노채널 가공방법
6 6
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 주요사업 단분자 이온 인식형 이송 제어 기능 나노채널 기술 (2/3)
2 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(III) 나노채널기반 고효율 물분자 이송 융합시스템 기술 (1/3)