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레이저빔을이용하여절연체기판에전도성패턴을형성하는장치및그방법

  • 기술번호 : KST2015130777
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저 빔(Laser Beam)을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 장치 및 그 방법이 개시된다. 상기 장치 및 방법은, 플렉시블한 타기트가 기판으로 공급되고, 타기트를 공급하는 타기트 공급부와 기판이 고정되는 구동부가 제어부에 의하여 유동되므로, 기판의 형상에 제한을 받지않고 기판에 패턴을 형성할 수 있다.
Int. CL H05K 3/10 (2006.01) H05K 3/07 (2006.01)
CPC B23K 26/359(2013.01) B23K 26/359(2013.01) B23K 26/359(2013.01) B23K 26/359(2013.01)
출원번호/일자 1019980030928 (1998.07.30)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0299185-0000 (2001.06.07)
공개번호/일자 10-2000-0010169 (2000.02.15) 문서열기
공고번호/일자 (20010906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.07.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한유희 대한민국 대전광역시 유성구
2 이제훈 대한민국 대전광역시 유성구
3 박정호 대한민국 대전광역시 유성구
4 서 정 대한민국 부산광역시 부산진구
5 김인웅 대한민국 대전광역시 유성구
6 김정오 대한민국 대전광역시 유성구
7 방남주 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박희진 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, 비동 비****호 (문정동, 문정역테라타워)(세기국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.07.30 수리 (Accepted) 1-1-1998-0094896-16
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.07.30 수리 (Accepted) 1-1-1998-0094897-62
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.07.30 수리 (Accepted) 1-1-1998-0094898-18
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.09.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1998-0094899-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.29 수리 (Accepted) 4-1-1999-0023978-02
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085495-93
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.07.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0097569-09
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0115150-06
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0115145-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2000-0013536-94
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0114713-69
12 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2000-5222791-57
13 의견서
Written Opinion		 2000.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2000-5258212-21
14 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.08.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5258214-12
15 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2001.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2001-5012243-79
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.03.03 수리 (Accepted) 4-1-2001-0023554-29
17 등록사정서
Decision to grant		 2001.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0144270-16
18 FD제출서
FD Submission		 2001.06.11 수리 (Accepted) 2-1-2001-5095446-98
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1

(1회 정정)

레이저 빔을 조사하는 레이저;

상기 레이저에서 조사되는 레이저 빔을 선택적으로 투과시키는 광스위치;

상기 광스위치에 의해 선택적으로 투과된 레이저 빔을 집속하여 전도성 금속으로 피복된 플렉시블 타기트에 조사하여 전도성 금속을 애블레이션시키는 집광렌즈;

상기 집광렌즈에 의해 전도성 금속이 애블레이션되는 플렉시블 타기트를 연속적으로 공급하는 타기트 공급부;

상기 타기트 공급부에 의해 연속적으로 공급되는 플렉시블 타기트로부터 애블레이션된 전도성 금속이 용착되는 기판;

상기 기판에 용착되는 전도성 금속에 의해 패턴을 형성하도록 상기 기판을 패턴과 대응하는 경로를 따라 이동시키는 구동부; 그리고

상기 레이저, 광스위치, 타기트 공급부 및 구동부의 동작을 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 장치

2 2

(1회 정정)

제 1 항에 있어서, 상기 타기트 공급부는,

상기 플렉시블 타기트를 상기 기판측으로 연속적으로 공급하는 타기트 보관부;

상기 보관부에 의해 공급되는 상기 플렉시블 타기트를 상기 기판측으로 정확하게 안내하는 안내판;

상기 안내판에 의해 안내되는 상기 플렉시블 타기트와 상기 기판 사이의 간극을 감지하고, 그 감지신호를 상기 제어부로 송신하여 상기 플렉시블 타기트를 상기 기판에 대하여 일정한 거리로 조정하는 갭 센서; 그리고

상기 갭 센서에 의해 일정한 거리로 조정하고, 상기 타기트 보관부를 구동시키는 구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 장치

3 3

(1회 정정)

원하는 패턴을 형성할 기판을 이동가능하게 고정하는 단계;

상기 기판을 향해 표면에 전도성 금속을 피복한 플렉시블 타기트를 공급하는 단계;

상기 기판을 향해 공급되는 플렉시블 타기트에 레이저 빔을 조사하는 단계;

상기 플렉시블 타기트에 대한 레이저 빔의 조사에 의해 그 표면에 피복된 전도성 금속을 애블레이션시키는 단계;

상기 플렉시블 타기트로부터 애블레이션된 전도성 금속을 상기 기판에 용착시켜 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 방법

4 4

(1회 정정)

제 3 항에 있어서, 상기 플렉시블 타기트에는 그 표면과, 그 표면 상에 형성된 상기 전도성 금속의 박막과의 사이에 레이저 빔의 파장에 대한 흡수율을 높이기 위한 제1 코팅층이 형성되고, 상기 전도성 금속의 박막 상에 상기 기판에 대한 접착력을 높이기 위한 제2 코팅층이 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 방법

5 5

(1회 정정)

제 3 항에 있어서, 상기 패턴이 형성된 기판을 어닐링(Annealing)하는 단계;

상기 어닐링된 기판을 무전해 도금하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 방법

6 6

(1회 정정)

제 3 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 펄스 형태로 조사되고, 상기 플렉시블 타기트는 상기 펄스 주기와 연동하여 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 방법

7 7

(신설)

제 5 항에 있어서, 상기 어닐링 단계는 200∼250??에서 약 2시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용하여 절연체 기판에 전도성 패턴을 형성하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.