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레이저빔을 이용한 엔코더의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130788
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 레이저빔을 이용하여 엔코더의 패턴을 형성하는 방법이 제공된다. 엔코더를 제조하는 방법은 광투과성 소재에 금속박막을 형성한 후, 금속박막을 선택적으로 제거하여 다수의 슬리트를 형성함으로써 이루어진다. 먼저, 레이저 발진기와 레이저빔 조절기구와 이송가능한 가공물 설치대를 갖는 레이저 가공장치의 상기 가공물 설치대에 엔코더 소재를 위치시킨다. 다음에 레이저빔의 경로에 상기 엔코더의 상기 슬리트 중 적어도 일부와 대응하는 패턴을 갖는 마스크를 위치시키고, 상기 마스크를 통하여 상기 엔코더 소재에 레이저빔을 조사하여 슬리트를 형성한다. 마스크와 상기 엔코더 소재 사이에 집속렌즈를 위치시키면, 마스크를 통과한 레이저빔이 상기 엔코더 소재에 축소 투영된다. 마스크가 상기 하나 또는 2 이상의 슬리트와 동일한 패턴을 구비하고, 상기 엔코더 소재를 사전설정된 피치만큼 이동시킨 후 레이저빔을 조사하면, 로터리 엔코더와 같이 규칙적으로 반복되는 슬리트를 형성하는 것이 가능하다.
Int. CL B23K 26/06 (2014.01) B23K 26/066 (2014.01)
CPC B23K 26/066(2013.01) B23K 26/066(2013.01)
출원번호/일자 1019980012496 (1998.04.09)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0273717-0000 (2000.09.04)
공개번호/일자 10-1999-0079745 (1999.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20001215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.04.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황 경 현 대한민국 대전광역시 서구
2 윤 경 구 대한민국 서울특별시 은평구
3 이 성 국 대한민국 대전광역시 서구
4 김 재 구 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 채윤 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, 역삼하이츠빌딩 ***호 (역삼동)(채윤국제특허법률사무소)
2 송호찬 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, 성지하이츠 III ***호 (역삼동)(송호찬국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.04.09 수리 (Accepted) 1-1-1998-0039607-15
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.04.09 수리 (Accepted) 1-1-1998-0039608-61
3 특허출원서
Patent Application		 1998.04.09 수리 (Accepted) 1-1-1998-0039606-70
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.29 수리 (Accepted) 4-1-1999-0023978-02
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085495-93
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.07.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0097569-09
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0115150-06
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0115145-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2000-0013536-94
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2000.02.21 수리 (Accepted) 9-1-2000-9001199-23
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0029646-25
12 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-5114494-46
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.05.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5145359-17
14 의견서
Written Opinion		 2000.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-5145358-61
15 등록사정서
Decision to grant		 2000.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0203869-37
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.03.03 수리 (Accepted) 4-1-2001-0023554-29
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광투과성 소재에 금속박막을 형성한 후, 금속박막을 선택적으로 제거하여 다수의 슬리트를 형성하기 위하여 레이저 발진기와 레이저빔 조절기구와 이송가능한 가공물 설치대를 갖는 레이저 가공장치로 엔코더를 제조하는 방법으로서, 광투과성 소재에 금속박막이 마련된 엔코더 소재를 준비하고, 상기 가공물 설치대에 상기 엔코더 소재를 위치시키고, 레이저빔의 경로에 상기 엔코더의 상기 슬리트 중 하나 또는 2 이상의 슬리트와 동일한 패턴을 갖는 마스크를 위치시키고, 상기 마스크를 통하여 상기 엔코더 소재에 레이저빔을 조사하는 단계와, 상기 엔코더 소재와 상기 마스크가 설치된 광경로 중 어느 하나를 사전 설정된 이송거리만큼 이동하는 단계를 반복함으로써, 상기 다수의 엔코더 슬리트를 형성하는 것을 특징으로 하는 엔코더 제조 방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 마스크와 상기 엔코더 소재 사이에는 집속렌즈가 위치하여, 상기 마스크를 통과한 레이저빔이 상기 엔코더 소재에 축소 투영되는 것을 특징으로 하는 엔코더 제조방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 엔코더 소재에 대하여 상기 광경로를 사전 설정된 피치만큼 이동시키되, 상기 광경로 상에는 2개의 거울이 배치되고 상기 2개의 거울중 하나와 마스크를 이동시키는 것을 특징으로 하는 엔코더 제조방법

4 4

제1항에 있어서, 상기 마스크는 상기 엔코더 소재에 인접하도록 위치하는 것을 특징으로 하는 엔코더 제조방법

5 5

제1항, 제2항, 제3항, 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 레이저는 엑사이머 레이저인 것을 특징으로 하는 엔코더 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.