| 1 |
1
너비가 W1인 제1 섹션(section)(110)과 상기 제1 섹션(section)(110)의 우측단에 일체로 형성되며 너비가 W1 보다 작거나 큰 W2인 제2 섹션(section)(120)을 구비하는 두께 ｔ인 판상의 박막 시편(100)의 좌측단 및 우측단을 지그(210, 220)에 각각 고정하는 시편 고정 단계(S110);상기 박막 시편(100)에 항복 응력 미만의 응력이 인가되도록 액츄에이터(actuator)(400)를 이용하여 상기 박막 시편(100)의 좌우방향을 따라 하중 Ｐa를 인가하는 하중 인가 단계(S121);상기 박막 시편(100)에 열을 가하여 상기 박막 시편(100)의 온도를 Ｔ0로부터 Ｔ로 증가시키는 온도 변화 단계(S123);상기 박막 시편(100)의 좌우방향을 따라 가해지는 총 하중 Ｐ(Ｔ)를 측정하는 총 하중 측정 단계(S130);상기 박막 시편(100)의 좌우방향을 따라 가해지는 총 하중이 Ｐ(Ｔ)이고, 상기 박막 시편(100)의 온도가 Ｔ인 상태에서, 상기 제1 섹션(section)(110)의 변형률 ε1(T) 및 상기 제2 섹션(section)(120)의 변형률 ε2(T)을 측정하는 변형률 측정 단계(S140);의 관계식을 이용하여 상기 박막 시편(100)의 탄성 계수 Ｅ(Ｔ)를 획득하는 탄성 계수 획득 단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 섹션을 구비한 박막 시편을 이용한 탄성 계수 측정 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 액츄에이터(actuator)(400)에 의하여 가해지는 하중 Ｐa는 미리 설정된 하중 값을 Ｐp라 하고, 허용 편차 하중 값을 Ｐd라 할 때, ｜Ｐp ― Ｐ(Ｔ)｜＜ Ｐd가 되도록 조절되는 것을 특징으로 하는 이중 섹션을 구비한 박막 시편을 이용한 탄성 계수 측정 방법
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 W1 = 2W2인 것을 특징으로 하는 이중 섹션을 구비한 박막 시편을 이용한 탄성 계수 측정 방법
|
| 4 |
4
너비가 W1인 제1 섹션(section)(110)과 상기 제1 섹션(section)(110)의 우측단에 일체로 형성되며 너비가 W1 보다 작은 W2인 제2 섹션(section)(120)을 구비하는 두께 ｔ인 판상의 박막 시편(100)의 좌측단 및 우측단을 지그(210, 220)에 각각 고정하는 시편 고정 단계(S210);상기 박막 시편(100)에 항복 응력 미만의 응력이 인가되도록 액츄에이터(actuator)(400)를 이용하여 상기 박막 시편(100)의 좌우방향을 따라 하중 Ｐa 또는 일정 변위를 인가하는 단계(S221);상기 박막 시편(100)에 열을 가하여 상기 박막 시편(100)의 온도를 Ｔ0로부터 Ｔ로 증가시키는 온도 변화 단계(S223);상기 박막 시편(100)의 온도가 Ｔ인 상태에서, 상기 제1 섹션(section)(110)의 변형률 ε1(T) 및 상기 제2 섹션(section)(120)의 변형률 ε2(T)을 측정하는 변형률 측정 단계(S240);의 관계식을 이용하여 상기 박막 시편(100)의 열팽창 계수 α(Ｔ)를 획득하는 열팽창 계수 획득 단계(S250);를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 섹션을 구비한 박막 시편을 이용한 열팽창 계수 측정 방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
너비가 W1인 제1 섹션(section)(110)과 상기 제1 섹션(section)(110)의 길이방향 측단에 일체로 형성되며 너비가 W1 보다 작은 W2인 제2 섹션(section)(120)을 구비하는 두께가 ｔ인 판상의 박막 시편(100);일면에 요(凹) 모양과 철(凸) 모양 중 어느 하나가 형성되는 제1 물림부(211, 221)와, 상기 박막 시편(100)의 길이 방향 측단을 파지하기 위하여 상기 제1 물림부(211, 221)와 맞물리도록 일면에 요(凹) 모양과 철(凸) 모양 중 나머지 하나가 형성되는 제2 물림부(212, 222)를 구비하는 제1 지그(210) 및 제2 지그(220);일측단이 액츄에이터(actuator)(400)에 연결되고 타측단이 상기 제1 지그(210)에 연결되는 제1 빔(beam)(310);일측단이 상기 제2 지그(220)에 연결되고, 타측단이 로드 셀(load cell)(500)에 연결되는 제2 빔(beam)(320);상기 박막 시편(100)에 열을 가하기 위하여, 상기 박막 시편(100) 하부에 위치하며 상기 제1 지그(210) 및 제2 지그(220)의 사이에 배치되는 열전모듈(600);을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 계수 및 열팽창 계수 측정 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 제1 빔(beam)(310)의 타측단에 돌출 형성되는 제1 빔(beam) 수나사(311);상기 제1 지그(210)의 외측면에 돌출되는 제1 지그 수나사(213);일측단에 상기 제1 빔(beam) 수나사(311)에 대응하는 암나사(811)가 형성되고 타측단에 상기 제1 지그 수나사(213)에 대응하는 암나사(812)가 형성되는 제1 연결대(810);상기 제2 지그(220)의 외측면에 돌출되는 제2 지그 수나사(223);상기 제2 빔(beam)(320)의 일측단에 돌출 형성되는 제2 빔(beam) 수나사(321);일측단에 상기 제2 지그 수나사(223)에 대응하는 암나사(821)가 형성되고, 타측단에 상기 제2 빔(beam) 수나사(321)에 대응하는 암나사(822)가 형성되는 제2 연결대(820);를 포함하되,상기 제1 연결대(810)의 일측단에 형성되는 암나사(811) 및 상기 제1 연결대(810)의 타측단에 형성되는 암나사(812)는 상호 동일한 암나사이고,상기 제2 연결대(820)의 일측단에 형성되는 암나사(821) 및 상기 제2 연결대(820)의 타측단에 형성되는 암나사(822)는 상호 동일한 암나사인 것을 특징으로 하는 탄성 계수 및 열팽창 계수 측정 장치
|
| 8 |
8
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 박막 시편(100)의 상면에는 금속이 도포되고,상기 제1 물림부(211, 221)와 제2 물림부(212, 222)는 부도체이며,일측단이 상기 제1 물림부(211, 221)의 일면과 상기 제2 물림부(212, 222)의 일면 중 상기 박막 시편(100)의 상면과 접촉하는 어느 하나에 부착되고, 타측단이 상기 지그(210, 220)의 외측으로 돌출되는 금속 패드(212-1, 222-1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 계수 및 열팽창 계수 측정 장치
|
