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MEMS 마이크로폰

  • 기술번호 : KST2015130820
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MEMS 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스트레스로 인한 멤브레인의 변형 및 잔류응력을 방지하고, 멤브레인의 강성을 줄인 MEMS 마이크로폰에 관한 것이다.
Int. CL H01L 29/84 (2006.01) H04R 19/04 (2006.01)
CPC H04R 19/005(2013.01) H04R 19/005(2013.01) H04R 19/005(2013.01) H04R 19/005(2013.01)
출원번호/일자 1020140080800 (2014.06.30)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1462375-0000 (2014.11.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141117) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허신 대한민국 대전광역시 유성구
2 정영도 대한민국 서울 관악구
3 이영화 대한민국 대전광역시 중구
4 곽준혁 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0613308-44
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0676902-65
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0529463-55
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0902234-65
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.09.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0902223-63
6 등록결정서
Decision to grant
2014.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0757212-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중심에 음향 챔버가 형성되는 기판과, 상기 음향 챔버의 상측에 일정거리 이격 배치되는 멤브레인과, 상기 기판의 상측 둘레면에 형성되며 상기 멤브레인의 둘레부와 결합되어 상기 멤브레인을 상기 기판에 고정하는 지지부와, 상기 음향 챔버 상부를 덮도록 상기 멤브레인 하부에 배치되며 통공 형태로 전면에 걸쳐 배치되는 다수 개의 음향홀이 형성되는 백플레이트를 포함하여 이루어지는 MEMS 마이크로폰에 있어서,상기 MEMS 마이크로폰은,상기 멤브레인의 둘레부를 따라 일정거리 이격 형성되며, 상기 멤브레인의 둘레에서 중심으로 함몰 형성된 복수 개의 사이드홈;상기 사이드홈과 이웃하는 사이드홈 사이에 형성되어 상기 지지부에 고정되는 체결부; 및상기 체결부 상에 형성된 단수 또는 복수의 플리트;를 포함하는, MEMS 마이크로폰
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 멤브레인은 원형 또는 타원형으로 이루어지며,상기 플리트는,상기 멤브레인의 원주 방향을 따라 형성된, MEMS 마이크로폰
4 4
제 1항에 있어서,상기 멤브레인은 원형 또는 타원형으로 이루어지며,상기 플리트는,상기 멤브레인의 원주 방향과 일정각도 기울어지게 형성된, MEMS 마이크로폰
5 5
제 1항에 있어서,상기 사이드홈은,반구형 또는 반타원형으로 이루어진, MEMS 마이크로폰
6 6
제 1항에 있어서,상기 플리트는, 상기 체결부의 끝단에서 상기 멤브레인의 둘레에서 중심 방향 내측으로 일정거리 이격되어 형성되며,상기 사이드홈은, 반구형 또는 반타원형으로 이루어지되, 상기 체결부의 끝단에서 상기 플리트가 형성되는 구간까지는 직선으로 이루어진, MEMS 마이크로폰
7 7
제 1항에 있어서,상기 사이드홈은,복수 개가 상기 멤브레인의 둘레를 따라 방사상으로 배치되며, 홀수 개가 형성되는, MEMS 마이크로폰
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(II) 청각장애인용 시각보조를 위한 초소형 생체모방 청각소자 및 음장 가시화 기술 개발(1/5) (5/5)