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중심에 음향 챔버가 형성되는 기판과, 상기 음향 챔버의 상측에 일정거리 이격 배치되는 멤브레인과, 상기 기판의 상측 둘레면에 형성되며 상기 멤브레인의 둘레부와 결합되어 상기 멤브레인을 상기 기판에 고정하는 지지부와, 상기 음향 챔버 상부를 덮도록 상기 멤브레인 하부에 배치되며 통공 형태로 전면에 걸쳐 배치되는 다수 개의 음향홀이 형성되는 백플레이트를 포함하여 이루어지는 MEMS 마이크로폰에 있어서,상기 MEMS 마이크로폰은,상기 멤브레인의 둘레부를 따라 일정거리 이격 형성되며, 상기 멤브레인의 둘레에서 중심으로 함몰 형성된 복수 개의 사이드홈;상기 사이드홈과 이웃하는 사이드홈 사이에 형성되어 상기 지지부에 고정되는 체결부; 및상기 체결부 상에 형성된 단수 또는 복수의 플리트;를 포함하는, MEMS 마이크로폰
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제 1항에 있어서,상기 멤브레인은 원형 또는 타원형으로 이루어지며,상기 플리트는,상기 멤브레인의 원주 방향을 따라 형성된, MEMS 마이크로폰
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제 1항에 있어서,상기 멤브레인은 원형 또는 타원형으로 이루어지며,상기 플리트는,상기 멤브레인의 원주 방향과 일정각도 기울어지게 형성된, MEMS 마이크로폰
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제 1항에 있어서,상기 사이드홈은,반구형 또는 반타원형으로 이루어진, MEMS 마이크로폰
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제 1항에 있어서,상기 플리트는, 상기 체결부의 끝단에서 상기 멤브레인의 둘레에서 중심 방향 내측으로 일정거리 이격되어 형성되며,상기 사이드홈은, 반구형 또는 반타원형으로 이루어지되, 상기 체결부의 끝단에서 상기 플리트가 형성되는 구간까지는 직선으로 이루어진, MEMS 마이크로폰
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제 1항에 있어서,상기 사이드홈은,복수 개가 상기 멤브레인의 둘레를 따라 방사상으로 배치되며, 홀수 개가 형성되는, MEMS 마이크로폰
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