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초정밀 부품이 장착되며 좌우 선형이동 가능한 출력플레이트;상기 출력플레이트가 좌측 방향으로 이동되도록 상기 출력플레이트에 선택적으로 인력을 인가하는 제1변위구동부;상기 출력플레이트가 우측 방향으로 이동되도록 상기 출력플레이트에 선택적으로 인력을 인가하는 제2변위구동부;상기 출력플레이트를 기준위치에 설정하는 기준지령전압과 상기 출력플레이트를 좌측 또는 우측으로 이동시키는 구동지령전압을 생성하는 전압 지령부; 및상기 기준지령전압에 상기 구동지령전압을 선택적으로 가산 또는 감산하고 증폭하여 상기 제1변위구동부 및 상기 제2변위구동부에 전달하는 전압조절부;를 포함하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치
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청구항 1에 있어서,상기 제1 및 제2변위구동부는,상기 전압조절부로부터 전달된 구동전압에 대응하여 길이 변화하는 제1 및 제2변위플레이트; 및상기 제1 및 제2변위플레이트와 상기 출력플레이트를 각각 연결하며 상기 제1 및 제2변위플레이트의 길이 변화에 대응하여 상기 출력플레이트에 상기 좌측 방향 또는 우측 방향의 인력을 인가하는 탄성힌지 메커니즘;을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치
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청구항 2에 있어서,상기 탄성힌지 메커니즘은상기 제1 및 제2변위플레이트의 길이 변화에 대응하여 시계 또는 반시계 방향으로 회전되는 두 개의 회전플레이트; 및상기 두 개의 회전플레이트를 상기 제1 및 제2변위플레이트와 상기 출력플레이트에 연결하는 하나 이상의 탄성힌지;를 포함하며,상기 두 개의 회전플레이트는 서로 다른 방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치
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청구항 1에 있어서,상기 전압 지령부는상기 제1 및 제2변위구동부에 동일한 크기의 기준지령전압을 인가하여 상기 출력플레이트를 기준위치에 설정하는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치
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청구항 1에 있어서,상기 전압조절부는상기 기준지령전압에 상기 구동지령전압을 가산하여 상기 출력플레이트에 인가되는 인력의 크기를 증가시키고, 상기 기준지령전압에 상기 구동지령전압을 감산하여 상기 인력의 크기를 감소시키는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치
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제1 및 제2변위구동부 각각에 동일한 크기의 기준지령전압을 동시에 인가하여 출력플레이트를 기준위치에 설정하는 단계(S110); 상기 출력플레이트가 이동될 방향의 상기 제1변위구동부 또는 상기 제2변위구동부 중 어느 하나에 구동지령전압을 가산하는 단계(S120); 그리고 상기 출력플레이트의 이동방향의 반대편의 상기 제1변위구동부 또는 상기 제2변위구동부 중 다른 하나에 구동지령전압을 감산하는 단계(S130);를 포함하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치의 구동방법
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청구항 6에 있어서,상기 기준위치 설정단계(S110)에서,상기 기준지령전압이 인가된 상기 제1변위구동부 및 상기 제2변위구동부는 상기 출력플레이트에 동일한 크기의 인력을 서로 반대 방향으로 동시에 인가하여 상기 출력플레이트를 양측에서 잡아당기는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치의 구동방법
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청구항 7에 있어서,상기 가산단계(S120)에서, 상기 기준지령전압과 상기 구동지령전압이 가산된 구동전압이 인가되는 상기 제1변위구동부 또는 상기 제2변위구동부는 상기 출력플레이트에 인가하는 인력의 크기를 증가시키는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치의 구동방법
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청구항 7에 있어서,상기 감산단계(S130)에서, 상기 기준지령전압과 상기 구동지령전압이 감산된 구동전압이 인가되는 상기 제1변위구동부 또는 상기 제2변위구동부는 상기 출력플레이트에 인가하는 인력의 크기를 감소시키는 것을 특징으로 하는 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치의 구동방법
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