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반응 공간을 형성하는 반응로; 및상기 반응로 내부에 돌출 설치되고 상기 반응로의 내벽과 간극을 형성하는 전극을 포함하며,상기 전극은,외표면으로 상기 반응로와의 사이에서 방전을 일으켜 상기 간극으로 공급되는 작동 기체로 플라즈마를 발생시키고, 내측의 통로로 액상 물질을 공급하는 본체와,상기 본체의 선단에 결합되어 상기 액상 물질을 기화시켜 상기 반응로 내부에 분사하도록 다공으로 형성되는 팁을 포함하며,상기 반응로는,상기 전극이 삽입되는 내측 실린더, 및상기 내측 실린더의 외측에 결합되는 외측 실린더를 포함하고,상기 외측 실린더는,상기 작동 기체를 공급하는 기체 공급라인에 연결되고 상기 내측 실린더와의 사이에 기체 챔버를 형성하며,상기 내측 실린더는,상기 기체 챔버로 공급되는 상기 작동 기체를 상기 전극을 향하여 공급하는 작동 기체 공급구를 형성하는 액상 물질 반응장치
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제1 항에 있어서,상기 본체는,상기 내측 실린더의 일측에서 상기 내측 실린더 내벽을 향하여 점차 확장 형성되는 확장부,상기 확장부 끝에 형성되는 최대 직경부, 및상기 최대 직경부에서 점차 축소 형성되는 축소부를 포함하는 액상 물질 반응장치
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제4 항에 있어서,상기 팁은,상기 축소부에 나사 결합되어 상기 통로에 연결되는 액상 물질 반응장치
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제5 항에 있어서,상기 통로는,상기 확장부, 상기 최대 직경부, 상기 축소부 및 상기 팁의 내측에 형성되어 연결되며,상기 축소부에서 상기 팁의 선단을 향하여 볼록한 곡선으로 형성되어 상기 다공에 연결되는액상 물질 반응장치
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제5 항에 있어서,상기 반응로는,상기 외측 실린더의 일측에 장착되어, 상기 전극과 상기 내측 실린더를 전기적으로 절연시키는 절연마개를 더 포함하는 액상 물질 반응장치
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제7 항에 있어서,상기 액상 물질을 공급하는 액상 공급라인은,상기 절연마개를 관통하여 상기 본체의 통로에 나사 결합되는액상 물질 반응장치
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제1 항에 있어서,상기 액상 물질은,물, 알코올, 휘발성 유기화합물(VOC) 및 액상 냉매 중 하나를 포함하는 액상 물질 반응장치
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제9 항에 있어서,상기 액상 냉매는,액상 폐냉매, 염화불화탄소(CFC), 수소화불화탄소(HFC), 및 수소화염화불화탄소(HCFC) 중 하나를 포함하는 액상 물질 반응장치
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