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기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트에 있어서,하부에서 상부로 공기가 공급되는 공급구와, 상부에서 하부로 공기가 빠져나가는 배출구가 복수 형성된 하판과;상기 하판의 상부에 배치되고, 하면에 상기 하판의 공급구와 연통되게 내측으로 요입된 채널이 형성되며, 상기 채널에서 유동하던 공기가 상면으로 배출되게 상면과 하면을 관통하는 급기구 형성되고, 상기 채널과 급기구가 연통되게 하면에 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈이 형성되며, 상기 하판의 배출구와 연통되게 복수의 배기구가 형성된 상판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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제 1항에 있어서,상기 하판은, 상기 상판의 급기구와 마주보는 위치에 상면과 하면을 관통하는 체결구를 형성하고, 하면에는 상기 체결구와 급기구를 체결하는 볼트가 장착된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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제 2항에 있어서,상기 급기구는, 상기 볼트가 끼워지도록 하면에서 상부로 요입된 볼트홀과, 상기 볼트홀의 상부에 상기 볼트홀 보다 작은 직경으로 볼트홀과 상면을 관통하는 미세홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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제 2항에 있어서,상기 채널은, 상기 급기구가 형성된 상판의 하면에 상기 급기구의 둘레를 따라 링형상의 돌출부가 형성되도록 상기 급기구를 우회하여 형성되고, 상기 돌출부의 하면에는 상기 미세홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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제 2항에 있어서,상기 하판의 저면에는 상기 체결구와 단턱을 형성하도록 내측으로 요입되어 상기 볼트의 머리부가 수용되는 수용홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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제 5항에 있어서,상기 수용홈이 형성된 하판의 저면에는 상기 수용홈의 둘레를 따라 링형상의 돌기부가 형성하도록 내측으로 요입된 링형상의 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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제 1항에 있어서,상기 상판은, 상면에 상기 배기구와 연통되고, 내측으로 요입된 배기홈이 길이방향을 따라 상호 나란하게 복수 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트
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