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금속 모재; 상기 금속 모재의 상부에 형성된 유전층; 및 상기 유전층 내부에 구비되며 정전기력 발생 및 발열을 동시에 수행할 수 있는 전극층을 포함하고, 상기 전극층은 정전기력 발생용 고전압 전원 및 전극 가열용 저전압 전원을 포함하는 복합전원에 전기적으로 연결되며, 상기 정전기력 발생용 고전압 전원 및 상기 전극 가열용 저전압 전원 사이에 절연 변압기가 구비된 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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제1항에 있어서, 상기 정전기력 발생용 고전압 전원에 의한 3 ~ 5kV의 직류 고전압에 의해 정전기력이 발생되는 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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제1항에 있어서, 상기 전극 가열용 저전압 전원에 의한 1 ~ 15A의 직류 또는 교류 전류에 의해 전극층이 발열되는 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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제1항에 있어서, 상기 전극 가열용 저전압 전원은 상기 정전기력 발생용 고전압 전원보다 높은 내전압 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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제1항에 있어서, 상기 전극 가열용 저전압 전원은 상기 정전기력 발생용 고전압 전원과 전기적으로 플로팅되어 있는 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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제1항에 있어서, 상기 금속 모재는 알루미늄 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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제1항에 있어서, 상기 유전층은 Al2O3, ZrO3, AlN 또는 Y2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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10
제1항에 있어서, 상기 유전층은 대기 플라즈마 용사법(APS, Air Plasma Spraying), 진공 플라즈마 용사법(VPS, Vacuum Plasma Spraying), 또는 감압 플라즈마 용사법(LPPS, Low Pressure Plasma Spraying)으로부터 선택되는 용사법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척
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