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기판층(110), 중간층(120), 패턴층(130)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 레플리카 스탬프(100)의 제조 방법에 있어서,a) 마스터 스탬프(200) 상면의 전면적에 걸쳐 패턴층 재료(131)가 부착되는 단계(S01);b) 상기 마스터 스탬프(200) 상에 도포된 상기 패턴층 재료(131)가 경화되어 상기 패턴층(130)이 형성되는 단계(S02);c) 상기 패턴층(130) 상면에 중간층 재료(121)가 배치되는 단계(S03);d) 상기 중간층 재료(121) 상측에 상기 기판층(110)이 배치되어, 상기 중간층 재료(121)가 상기 기판층(110)에 의해 가압되면서 1차 경화되어, 상기 중간층 재료(121) 전체가 기판층(110) 면적 일부에 부착되는 단계(S04);e) 상기 마스터 스탬프(200), 상기 패턴층(130), 상기 중간층 재료(121), 상기 기판층(110)이 하부에서 상부로 순차적으로 적층 배치된 적층체의 상하가 바뀌도록 배치되고, 상기 마스터 스탬프(200)의 바깥쪽을 둘러싸는 위치에 벽체(125)가 구비되는 단계(S05);f) 상기 벽체(125) 및 상기 중간층 재료(121) 사이의 공간에 중간층 재료 추가분(122)이 주입되어, 상기 중간층 재료(121) 전체 및 상기 중간층 재료 추가분(122) 일부가 기판층(110) 면적 전체에 부착되는 단계(S06);g) 상기 중간층 재료(121) 및 상기 중간층 재료 추가분(122)이 2차 경화되어 상기 중간층(120)이 형성되는 단계(S07);h) 상기 벽체(125) 또는 상기 벽체(125) 및 상기 마스터 스탬프(200)의 면적 외측으로 형성된 상기 중간층(120) 일부분(S)이 제거되는 단계(S08);i) 상기 마스터 스탬프(200)가 제거되는 단계(S09);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 벽체(125)는상기 중간층 재료(121) 및 상기 중간층 재료 추가분(122)과 동일한 재질인 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 레플리카 스탬프(100)는SCIL(Substrate Conformal Imprinting Lithography) 공정에 사용되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 b) 단계에서상기 패턴층 재료(131)는 가열에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 d) 단계에서상기 중간층 재료(121)는 상기 기판층(110)에 의한 가압 및 가열에 의해 1차 경화되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 g) 단계에서상기 중간층 재료(121) 및 상기 중간층 재료 추가분(122)은 가열에 의해 2차 경화되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 e) 단계에서상기 벽체(125)는 상기 기판층(110) 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 f) 단계와 상기 g) 단계 사이에f-1) 상기 기판층(110)이 적어도 하나 이상의 방향으로 기울어지는 동작이 수행되는 단계;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 h) 단계에서상기 벽체(125) 및 상기 중간층 재료(121) 사이의 공간에 형성된 상기 중간층(120)의 높이가 상기 마스터 스탬프(200)의 위치보다 낮거나 동일할 경우, 상기 벽체(125)만 제거되거나 또는 상기 벽체(125) 및 상기 중간층(120) 일부분(S)이 제거되고,상기 벽체(125) 및 상기 중간층 재료(121) 사이의 공간에 형성된 상기 중간층(120)의 높이가 상기 마스터 스탬프(200)의 위치보다 높을 경우, 상기 벽체(125) 및 상기 중간층(120) 일부분(S)이 제거되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 레플리카 스탬프(100)는상기 기판층(110)은 유리 재질, 상기 중간층(120)은 PDMS(polydimethylsiloxane) 재질, 상기 패턴층(130)은 h-PDMS 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 b) 단계에서상기 패턴층 재료(131)는 60 ~ 80℃ 범위 내의 온도에서 1 ~ 2시간 범위 내의 시간 동안의 가열에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 d) 단계에서상기 중간층 재료(121)는 상기 기판층(110)에 의한 가압 및 40 ~ 60℃ 범위 내의 온도에서 2 ~ 3일 범위 내의 시간 동안의 가열에 의해 1차 경화되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 g) 단계에서상기 중간층 재료(121) 및 상기 중간층 재료 추가분(122)은 40 ~ 60℃ 범위 내의 온도에서 2 ~ 3일 범위 내의 시간 동안의 가열에 의해 2차 경화되는 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 벽체(125)는PDMS, 실리콘, 고무 중 선택되는 적어도 어느 한 가지 재질인 것을 특징으로 하는 균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법
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